[发明专利]光束扩展器

权利要求书

1.一种光束扩展器，其特征在于，

具备：

第一透镜部，其由空间光调制元件或可变焦点透镜中的任一者构成；

第二透镜部，其与所述第一透镜部光学结合，由空间光调制元件或可变焦点透镜中的任一者构成；以及

控制部，其控制所述第一透镜部的焦点距离f₁与所述第二透镜部的焦点距离f₂，

所述第一透镜部与所述第二透镜部的距离L₁不变，

所述控制部以输入到所述第一透镜部的入射光的光径与从所述第二透镜部输出的出射光的光径相互不同，并且所述出射光的光径相对于所述入射光的光径任意地变化且焦点距离f₁、f₂和距离L₁满足关系式f₂＝L₁-f₁的方式，通过将电信号提供给所述第一透镜部以及所述第二透镜部来控制所述第一透镜部与所述第二透镜部的焦点距离。

2.如权利要求1所述的光束扩展器，其特征在于：

所述第一透镜部和所述第二透镜部中的至少一者由空间光调制元件构成，所述控制部将透镜图案赋给所述空间光调制元件。

3.如权利要求2所述的光束扩展器，其特征在于：

所述第一透镜部和所述第二透镜部分别由反射型空间光调制元件构成。

4.如权利要求3所述的光束扩展器，其特征在于：

构成所述第一透镜部的所述反射型空间光调制元件与构成所述第二透镜部的所述反射型空间光调制元件以它们的光反射面相互平行的方式配置。

5.如权利要求2所述的光束扩展器，其特征在于：

所述第一透镜部和所述第二透镜部由单个反射型空间光调制元件构成，其光反射面中的一部分区域作为所述第一透镜部使用，另一部分区域作为所述第二透镜部使用。

6.如权利要求3所述的光束扩展器，其特征在于：

具备多个反射元件，所述第二透镜部经由所述多个反射元件而与所述第一透镜部光学结合。

7.如权利要求4所述的光束扩展器，其特征在于：

具备多个反射元件，所述第二透镜部经由所述多个反射元件而与所述第一透镜部光学结合。

8.如权利要求5所述的光束扩展器，其特征在于：

具备多个反射元件，所述第二透镜部经由所述多个反射元件而与所述第一透镜部光学结合。

9.如权利要求2所述的光束扩展器，其特征在于：

所述空间光调制元件是透射型空间光调制元件。

10.如权利要求2～9中的任一项所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部将包含输入到所述第一透镜部的光的中心轴线的直线与包含从所述第二透镜部输出的光的中心轴线的直线相互分离的所述透镜图案赋给所述空间光调制元件。

11.如权利要求2～9中的任一项所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部将从所述第二透镜部输出的光相对于输入所述第一透镜部的光分割成多条光路的透镜图案赋给所述空间光调制元件。

12.如权利要求10所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部将从所述第二透镜部输出的光相对于输入所述第一透镜部的光分割成多条光路的透镜图案赋给所述空间光调制元件。

13.如权利要求2～9中的任一项所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部在赋给所述空间光调制元件的所述透镜图案重叠用于修正在该光束扩展器中产生的像差的图案。

14.如权利要求10所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部在赋给所述空间光调制元件的所述透镜图案重叠用于修正在该光束扩展器中产生的像差的图案。

15.如权利要求11所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部在赋给所述空间光调制元件的所述透镜图案重叠用于修正在该光束扩展器中产生的像差的图案。

16.如权利要求12所述的光束扩展器，其特征在于：

所述控制部在赋给所述空间光调制元件的所述透镜图案重叠用于修正在该光束扩展器中产生的像差的图案。