[发明专利]光纤激光振荡器、光纤激光加工装置以及光纤激光振荡器的除湿方法

说明书

技术领域

本发明涉及光纤激光振荡器、光纤激光加工装置以及光纤激光振荡器的除湿方法。

背景技术

光纤激光振荡器具备机箱、以大致密封的状态收纳于该机箱内的光引擎、控制振荡动作的控制装置以及冷却装置而构成。光引擎具备：具有作为激光光源的半导体激光的多个光纤激光模块；使在各光纤激光模块中生成的激光耦合的合束器。在合束器中耦合的激光通过程序光纤向外部输出。

一般来说，在半导体激光的激光振动效率方面具有温度依存性。因此，需要通过冷却将伴随激光的振动而发热的光引擎的温度维持在适宜的温度下，经常得到高的振动效率。为此，冷却装置具备将其光引擎维持在适宜的温度下的功能。该冷却通常通过在配置于机箱内的冷却水路(冷却导管)内使例如24℃的冷却水流入循环来进行。

可是，包含在机箱内的空气的水蒸气的量超过在冷却水温度(如24℃)中的饱和水蒸气的量时，在冷却导管的表面会产生结露，对光引擎内的电子部件等产生影响的可能性高。因此，向冷却水的冷却导管内的注入有必要在通过除湿装置将机箱内的空气及光纤激光模块内的空气的湿度充分变低之后进行。

在专利文献1中作为将这样的除湿装置配备在机箱内的光纤激光振荡器，提出了具备用于机箱内供给分别适合多个LD模块的干燥后的空气(低露点干燥空气)的除湿装置的光纤激光振荡器。具体地说，提出了将通过除湿而得到的低露点干燥空气用小型泵以每分钟1L(1dm³)的程度供给的实施例，另一方面，记载着使用一直以来设置于激光加工机等上的供给清洗用空气的装置的要点。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-024778号公报

发明内容

在专利文献1中记载的装置中，在低露点干燥空气的供给中使用小型泵的情况下以每分钟1dm³程度进行空气供给。

可是，在其可供给的低露点干燥空气的流量中自然存在界限，根据机箱内的空气的温度及湿度的关系，例如，存在通过接通电源等开始除湿之后至充分除湿后可进行光纤激光的输出，需要比较长的时间的情况。

另一方面，从市场的角度希望对光纤激光加工装置大功率化，为了对应其期望，推进光纤激光振荡器的大功率化。并且，用于可具有余力地实现该大功率化的冷却系统及除湿系统的高能力化也做将来性预想。

在这样的情况下，认为从外部作为清洗用空气充裕地供给而得到的压缩空气的利用是有效的，关于将该压缩空气利用于除湿的情况的具体结构等在专利文献1中未提出。

因此，本发明需要解决的课题是提供使用清洗用空气，通过除湿从开始除湿到可进行加工动作的等待时间缩短且使用性能优良的光纤激光振荡器、光纤激光加工装置及光纤激光振荡器的除湿方法。

为了解决上述课题，提供一种光纤激光振荡器，其具备：输出激光的多个光纤激光模块；将分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器；通过气体分离膜模块使从外部供给的清洗用压缩空气成为低露点干燥空气的低露点化部；将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的分配器。

另外，提供一种光纤激光加工装置，其具备光纤激光振荡器以及激光加工机，其中，该光纤激光振荡器具备：具有通过气体分离膜模块使从外部供给的清洗用压缩空气成为低露点干燥空气的低露点化部的空气清洗单元；输出激光的多个光纤激光模块；将分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器；将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的分配器，该激光加工机通过从上述合束器输送的激光对工件进行激光加工。

而且，提供一种光纤激光振荡器的除湿方法，该光纤激光振荡器具备输出激光的多个光纤激光模块、使分别从上述多个光纤激光模块输出的激光合束并输送至外部的合束器，该光纤激光振荡器的除湿方法的特征在于，包含下述步骤：通过气体分离膜模块对从外部供给的清洗用压缩空气进行除湿并成为低露点干燥空气的干燥空气生成步骤；以及将上述干燥空气分别分配供给至上述多个光纤激光模块的干燥空气供给步骤。

附图说明

图1是用于说明在本发明中的一实施方式中光纤激光加工装置的整体图。

图2是用于说明在本发明中的一实施方式中光纤激光振荡器的图。

图3是用于说明在本发明中的一实施方式中光纤激光加工装置的空气清洗单元的图。

图4是用于说明根据在本发明中的一实施方式中光纤激光振荡器的除湿而产生的露点推移的图表。