[发明专利]X射线照射装置及X射线照射源

说明书

技术领域

本发明涉及X射线照射装置及X射线照射源。

背景技术

以往，公开有X射线照射装置，其具备具有产生X射线的X射线管的多个X射线照射单元(X射线照射源)(例如参照专利文献1)。这样的X射线照射装置作为例如对空气等的气体照射X射线而产生离子气体，进行对象物的除电的除电装置来使用。作为除电装置的X射线照射装置被采用在以IC(集成电路)、LCD(液晶显示装置)、或PDP(等离子显示器面板)等的制造为首的广泛的领域。

另外，公开有在窗帘轨道那样的支承构件以一定间隔安装多个X射线照射单元，从各个X射线照射单元照射X射线的X射线照射装置(例如参照专利文献2)。根据专利文献2所记载的X射线照射装置，通过改变支承构件的长度或X射线照射单元的数量等，可配合除电的对象物的大小或形状，自由地调整X射线照射范围。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-338965号公报

专利文献2：日本特开2006-66075号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在将上述那样的X射线照射装置作为除电装置予以使用的情况下，需要将各X射线照射单元连接于控制用的控制器。但是，当对每个X射线照射单元，以中继电缆单纯地连接于控制器时，自控制器延伸的中继电缆的配线变得繁杂，会有以单元的增减为首的装置的安装作业性恶化的担忧。

本发明是为了解决上述课题而完成的发明，其目的在于提供不使配线繁杂化，能够进行X射线照射源的数量的增减的X射线照射装置及X射线照射源。

解决课题的技术手段

本发明所涉及的X射线照射装置，其特征在于，具备：多个X射线照射源，其具有产生X射线的X射线管、驱动X射线管的驱动电路和连接于驱动电路的主配线；及控制器，其具有控制X射线照射源的控制电路，多个X射线照射源的主配线相对于控制电路被串联连接，由此，多个X射线照射源的驱动电路相对于控制电路被并联连接。

根据这样的X射线照射装置，通过将多个主配线相对于控制电路进行串联连接，从而多个驱动电路相对于控制电路被并联连接，可通过控制器控制被连接了的所有的X射线照射源。由于多个主配线相对于控制电路被串联连接，因而，能够将各X射线照射源彼此连接，不需要将每个各X射线照射源与控制器进行连接。因此，不会造成配线繁杂化，可进行X射线照射源的数量的增减。

在此，优选，X射线照射源进一步具有成为主配线的外部连接口的输入端子及输出端子，一个X射线照射源的输出端子经由中继电缆而可自由装卸地连接于其它的X射线照射源的输入端子。在此情况下，可容易进行X射线照射源的数量的增减。

另外，优选，还具备排列安装有多个X射线照射源的轨道，X射线照射源还具有框体，该框体收纳X射线管、驱动电路、主配线、输入端子及输出端子，框体在外侧具有射出在X射线管产生的X射线的X射线射出面；与X射线射出面相对的背面；及与X射线射出面交叉且相互相对的一对侧面，输入端子及输出端子配置成分别在一对侧面开口，X射线照射源分别被安装于轨道，使得背面与轨道相对并且一对侧面的相对方向沿着轨道的延伸方向。

在此情况下，由于在与框体的X射线射出面交叉的框体的侧面，输入端子及输出端子开口，因而，连接于输入端子及输出端子的中继电缆难以沿X射线的射出方向延伸。因此，能够防止中继电缆成为X射线射出的阻碍。另外，由于一对侧面的相对方向沿着轨道的延伸方向，因而，相邻的X射线照射源的输入端子与输出端子相对。由此，由于X射线照射源与中继电缆沿着轨道的延伸方向交替地排列，因而，容易进行X射线照射源的数量的增减，并且可抑制X射线照射装置朝轨道的宽度方向的扩展，能够谋求省空间化。

另外，优选，轨道及框体由金属材料所构成，框体经由可自由装卸地安装于轨道的接头构件而被安装在轨道，接头构件由绝缘性的材料所构成。在此情况下，通过轨道由金属材料所构成，能够确保轨道的强度。通过框体由金属材料所构成，从而构成相对于朝X射线照射源的物理性冲击或电磁波噪声等的屏蔽。另外，由于经由可自由装卸地安装于轨道的接头构件来安装在轨道，因而，可容易进行X射线照射源的数量的增减。再有，在由金属所构成的轨道，会有因外部原因所引起的电气噪声传送，进而将其传送到框体的可能性，但是，通过由绝缘性的材料所构成的接头构件，遮断轨道与框体之间的电性连接，可防止电气噪声从轨道传送到框体。因此，能够使X射线照射源的动作稳定。