[发明专利]机电系统装置

说明书

技术领域

本发明涉及机电系统中的驱动器线的布设。

背景技术

机电系统(EMS)包含具有电气和机械元件、激活器、换能器、传感器、光学组件(包含镜)和电子器件的装置。EMS可在多种尺度下制造，包含(但不限于)微尺度和纳米尺度。举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有范围从约一微米到数百微米或更大的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小的结构，包含(例如)小于数百纳米的大小。可使用沉积、蚀刻、光刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生机电元件。

一种类型的EMS装置被称为干涉式调制器(IMOD)。如本文中所使用，术语IMOD或干涉式光调制器是指使用光学干涉的原理来选择性地吸收和/或反射光的装置。在一些实施方案中，IMOD可包含一对导电板，所述对导电板中的一者或两者可为整体或部分透明和/或反射性的，且能够在施加适当电信号时相对运动。在一实施方案中，一个板可包含沉积于衬底上的静止层，且另一板可包含通过气隙与所述静止层分开的反射膜。一个板相对于另一板的位置可改变入射于IMOD上的光的光学干涉。IMOD装置具有广泛范围的应用，且预期用于改善现有产品且创造新产品，尤其是具有显示能力的产品。

在一些实施方案中，EMS装置可包含可从一或多个驱动器电路接收电信号的IMOD阵列。所述一或多个驱动器电路可通过在所述阵列与一或多个驱动器电路之间布设的多个驱动器线而电耦合到所述阵列。驱动器线的布设可需要大于所述阵列的作用区域的几何区域或占地面积。因此，在一些实施方案中，所述阵列的作用区域可受到驱动器线布设的限制。

发明内容

本发明的系统、方法和装置各自具有若干创新方面，其中没有单个一者单独地负责本文中所揭示的所需属性。

本发明中所描述的标的物的一个创新方面可在包含界定阵列占地面积的显示元件阵列的设备中实施。所述显示元件阵列包含在第一方向上延伸的多个可移动层、在第二方向上延伸的多个固定电极、多个电连接垫，及多个驱动器线。所述多个可移动层及固定电极形成多个显示元件的一部分。每一连接垫安置于可移动层的末端处。每一驱动器线具有连接到连接垫的第一末端及可连接到驱动器电路的第二末端。在所述阵列的占地面积内在所述阵列上方或下方布设多个驱动器线的至少一部分。

在一个方面中，多个驱动器线的至少一部分可安置于所述阵列的非作用区域上方，且固定电极可安置于可移动层与安置于所述阵列的非作用区域上的多个驱动器线的所述部分之间。在一个方面中，多个驱动器线的至少一部分可安置于所述阵列的作用区域上。所述设备可包含导电光学掩模结构，其安置于所述阵列上且在至少一些所述显示元件之间延伸以掩盖显示器的非作用区域。所述光学掩模结构可形成多个驱动器线中的至少一者的一部分。在一个方面中，多个可移动层可安置于多个固定电极与多个驱动器线的至少一部分之间。在一个方面中，所述设备可包含至少一个钝化层，且多个驱动器线的至少一部分可安置于所述至少一个钝化层上。在一个方面中，显示元件可为干涉式调制器(IMOD)。

本发明中所描述的标的物的另一创新方面可在包含界定阵列占地面积的显示元件阵列的设备中实施。所述显示元件阵列包含在第一方向上延伸的多个可移动层、在第二方向上延伸的多个固定电极、多个电连接垫，及用于将所述多个可移动层中的每一者电连接到驱动器电路的装置。每一连接垫安置于可移动层的末端处。电连接装置电连接到连接垫且可连接到驱动器电路。在所述阵列的占地面积内在所述阵列上方或下方将电连接装置的至少一部分从所述驱动器电路布设到所述连接垫。在一个方面中，所述电连接装置可包含多个驱动器线，每一驱动器线具有连接到连接垫的第一末端及可连接到驱动器电路的第二末端。

本发明中所描述的标的物的另一创新方面可在包含形成界定阵列占地面积的显示元件阵列的制造设备的方法中实施。形成所述显示元件阵列包含：形成在第一方向上延伸的多个可移动层及在第二方向上延伸的多个固定电极；在每一可移动层的末端处形成电连接垫；及形成多个驱动器线，每一驱动器线具有连接到连接垫的第一末端及可连接到驱动器电路的第二末端。所述多个驱动器线的至少一部分在所述阵列的占地面积内在所述阵列上方或下方从所述驱动器电路通过到达所述连接垫。