[发明专利]使用贯穿玻璃通孔的3D RF LC滤波器

权利要求书

1.一种用于在玻璃基板上形成L-C滤波器电路的方法，包括：

在所述玻璃基板的第一表面上形成第一电感器的第一部分；

在所述玻璃基板的第二表面上形成所述第一电感器的第二部分；以及

经由贯穿玻璃通孔(TGV)来连接所述第一电感器的所述第一和第二部分。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二部分相对于所述第一部分成一角度地形成以允许所述TGV的交叠连接点。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述玻璃基板的所述第一表面上形成第二电感器的第三部分；

在所述玻璃基板的所述第二表面上形成所述第二电感器的第四部分；

经由TGV来连接所述第三和第四部分；以及

将所述第一和第二电感器定位成对准它们各自相应的磁场以提供互电感耦合。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述第一和第二电感器之间形成MIM(金属－绝缘体－金属)电容器；以及

通过所述MIM电容器来耦合所述第一和第二电感器。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述第一部分和所述第二部分之间提供磁性材料，以形成所述第一电感器的磁芯。

6.一种L-C滤波器电路，包括：

玻璃基板；

第一电感器的在所述玻璃基板的第一表面上形成的第一部分；

所述第一电感器的在所述玻璃基板的第二表面上形成的第二部分；以及

第一组贯穿玻璃通孔(TGV)，其配置成连接所述第一电感器的所述第一和第二部分。

7.如权利要求6所述的L-C滤波器电路，其特征在于，所述第二部分相对于所述第一部分成一角度地形成以允许所述TGV的交叠连接点。

8.如权利要求6所述的L-C滤波器电路，其特征在于，还包括：

第二电感器的在所述玻璃基板的所述第一表面上形成的第三部分；

所述第二电感器的在所述玻璃基板的所述第二表面上形成的第四部分；以及

第二组TGV，其配置成连接所述第三和第四部分，其中所述第一和第二电感器被定位成使它们的磁场对准以提供互电感耦合。

9.如权利要求8所述的L-C滤波器电路，其特征在于，还包括：

在所述第一和第二电感器之间形成的金属－绝缘体－金属(MIM)电容器，从而所述第一和第二电感器通过所述MIM电容器来耦合。

10.如权利要求6所述的L-C滤波器电路，其特征在于，还包括：

位于所述第一部分和所述第二部分之间的磁性材料，从而所述磁性材料形成所述第一电感器的磁芯。

11.如权利要求6所述的L-C滤波器电路，其特征在于，所述L-C滤波器电路被集成在半导体管芯中。

12.如权利要求6所述的L-C滤波器电路，其特征在于，所述L-C滤波器电路被集成到从包括以下各项的组中选择的设备中：机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、通信设备、个人数字助理(PDA)、固定位置数据单元、和计算机。

13.一种用于在玻璃基板上形成L-C滤波器电路的方法，包括：

用于在所述玻璃基板的第一表面上形成第一电感器的第一部分的步骤；

用于在所述玻璃基板的第二表面上形成所述第一电感器的第二部分的步骤；以及

用于经由贯穿玻璃通孔(TGV)来连接所述第一电感器的所述第一和第二部分的步骤。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述第二部分相对于所述第一部分成一角度地形成以允许所述TGV的交叠连接点。

15.如权利要求13所述的方法，其特征在于，还包括：

用于在所述玻璃基板的所述第一表面上形成第二电感器的第三部分的步骤；

用于在所述玻璃基板的所述第二表面上形成所述第二电感器的第四部分的步骤；

用于经由TGV来连接所述第三和第四部分的步骤；以及

用于将所述第一和第二电感器定位成对准它们各自相应的磁场以提供互电感耦合的步骤。