[发明专利]粒子束照射装置

权利要求书

1.一种粒子束照射装置，其对被照射体照射粒子束，其具备：

扫描机构，其扫描所述粒子束；

电流供给机构，其向所述扫描机构供给电流；及

扫描控制机构，其通过向所述电流供给机构传送电流指令值，来控制由所述扫描机构进行的对所述粒子束的扫描，

所述扫描控制机构的动作时钟的周期与所述电流供给机构的动作时钟的周期相等。

2.根据权利要求1所述的粒子束照射装置，其中，

所述扫描控制机构具有向所述电流供给机构传送动作时钟信号的发送部，

所述电流供给机构具有接收由所述发送部传送的所述动作时钟信号的接收部。

3.根据权利要求1或2所述的粒子束照射装置，其还具备：

位置测定机构，其测定由所述扫描机构扫描的所述粒子束的位置，

所述扫描控制机构根据与所述电流指令值对应的所述粒子束的计划位置与通过所述位置测定机构测定的所述粒子束的测定位置的比较结果，判定所述粒子束的扫描是否有异常。