[实用新型]一种LED衬底晶片倒角加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及LED衬底的加工装置，尤其是蓝宝石衬底晶片的加工装置技术领域。

背景技术

蓝宝石是一种氧化铝单晶材料，具有非常高的硬度，是目前LED行业的普遍采用的衬底材料，用作氮化镓等外延生长的基质以生产蓝光等发光二极管，然而蓝宝石衬底晶片大部分依赖于国外进口砂轮倒角，加工成本高、效率低下，不利于我国LED行业发展，针对目前技术缺陷，发明设计了倒角砂轮新型技术工艺方法，解决了衬底片倒角工艺问题，提升衬底质量，实现高效的规模化生产，促成LED产业链的形成和壮大，对我国的经济发展和产业结构调整具有重要意义，不仅提高蓝宝石衬底晶片的质量，而且大大缩短制备周期，从而节约生产成本，又达到提高劳动生产率的目的。

发明内容

本实用新型在于解决衬底片倒角工艺问题，提升蓝宝石衬底晶片的质量，节约生产成本，提高生产效率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下所述的技术方案：一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(1)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器(4)、刻刀(5)，所述的装置本体(1)设置在机架(2)上，金刚石砂轮(3)通过筛选器(4)连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体(1)内部。

所述的装置本体(1)上还设置有镀膜器(6)和烘干口(7)。

所述的机架(2)下安装有方便移动、固定的双排滚轮(8)。

本实用新型的有益技术效果在于：解决了背景技术中存在的缺陷，使用金刚砂轮进行磨削蓝宝石衬底时，采用砂轮线固定，通过调节配重位置来均匀施加衬底片磨削进行给力，使衬底晶片不易出现塌边现象，将原先最大的塌边＞50um提高到塌边＜3um，蓝宝石衬底晶片上的刻槽，可显著减少氮化镓晶体生长过程中因晶格不匹配而产生的应力，使得部分应力得到释放，大大提高了蓝宝石衬底晶片的成品率，镀膜材料与蓝宝石结合能很好的提高抗热冲击力、耐高温、透明，能抵挡固体粒子或是雨滴的冲蚀。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及实施案例对本实用新型作进一步的说明。

如图所示，本实用新型公开的一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(1)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器(4)、刻刀(5)，装置本体(1)设置在机架(2)上，金刚石砂轮(3)通过筛选器(4)连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体(1)内部；装置本体(1)上还设置有镀膜器(6)和烘干口(7)；机架(2)下安装有方便移动、固定的双排滚轮(8)。

本实用新型一种LED衬底晶片倒角加工装置，有效的减少晶片应力集中造成塌边、崩边，并将原先最大塌边＞50um提高到塌边＜3um，使蓝宝石衬底晶片的质量提高的同时，降低了加工成本。