[实用新型]一种用于洁净室的新风机组系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种空调调节系统，特别是涉及一种用于洁净室的新风机组系统。

背景技术

微电子芯片产品的高质量、高精度以及高成品率使得其需要具有高洁净度的生产环境。芯片的制造工艺要求在恒温恒湿洁净的环境中进行。这种恒温恒湿且有高洁净度的环境为洁净室或洁净厂房。所谓恒温恒湿是指温度和相对湿度在一个很小范围内变化。而洁净室提供这种恒温恒湿的条件是由洁净室内所配置的空调系统来完成的，即洁净室用新风机组系统。

传统的洁净室新风机组系统机箱中的设计如图1所示，系统中从进风端口至出风端口依次设置有：进风风阀101、过滤器（初效过滤器和中效过滤器)102、预热盘管103、预冷盘管104、加湿器105、再冷盘管106、再热盘管107、送风动力设备108、化学过滤器109、高效过滤器110以及出风风阀111。系统组件外部还设置有机箱112。

新风机组系统的工作原理是：在外界气温和湿度较高时，例如夏天南方的气温有时会在25℃以上，而且相对湿度大于40%，而新风必须经过降温和除湿达到一定的送风标准（温度22℃、相对湿度45%）才能输送到洁净室内。机组工作时首先使风机启动，进风风阀101被打开，风阀是起到保护空调机组件和保证送风管路的封闭性的作用。外界新风经过进风风阀，再经过初效过滤器和中效过滤器即图1中的过滤器102，过滤器将外界新风中大颗粒的尘埃过滤掉，同时提高高效过滤器110的使用寿命，保证无尘洁净度。而这时新风循环机组系统中的预热盘管103设置为停止工作，接着被过滤后的新风会进入预冷盘管104进行降温，降温过程中需要利用新风系统中的冰水进行吸热制冷，同时耗费大量电力。

在外气湿度相对大于洁净室新风湿度要求的情况下，降温后的新风不需要进入加湿器105进行加湿，而是需要经过再冷盘管106进行除湿，经过再冷盘管106除湿后新风的温度低于9.5℃，由于此时新风的温度太低不能直接被送入洁净室内，需要进一步使用蒸汽进行加热才行。因此降温后的新风被送入再热盘管107中进行再加热，通常加热到14℃以上，此过程需要耗费大量的蒸汽。经过降温除湿后的新风再经过化学过滤器109和高效过滤器110使得新风进一步被过滤最后经过出风风阀送入洁净室内。

由于传统的新风机组系统在夏季外界气温达到25度以上时，没有开启预热盘管而直接将新风送入预冷盘管制冷导致增加不必要的制冷耗电量，然后较低温度的新风再经过再热盘管进行降温耗费了大量的蒸汽，带来了企业和政府一笔不小的经济损失。

鉴于此，有必要提供一种新的用于洁净室的新风机组系统来改善目前机组系统能源流失的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于洁净室的新风机组系统，用于解决现有技术中空调机组系统大量耗电和消耗蒸汽的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于洁净室的新风机组系统，至少包括：

进风风阀以及出风风阀；

位于所述进风风阀和出风风阀之间的预热盘管；

连接预热盘管的预热盘管出水管道；

连接预热盘管的预热盘管进水管道；

预热盘管出水管道和预热盘管进水管道采用第一气动控制阀连接；

再热盘管；

连接再热盘管的再热盘管进水管道；

连接再热盘管的再热盘管出水管道；

预热盘管出水管道和再热盘管进水管道采用第二气动控制阀连接；

再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接；

再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接处设置有第三气动控制阀。

作为本实用新型的用于洁净室的新风机组系统的一种优选方案，所述进风风阀和预热盘管之间设置有过滤器，所述过滤器与所述预热盘管之间形成空气夹层。

作为本实用新型的用于洁净室的新风机组系统的一种优选方案，所述预热盘管和再热盘管之间自进风风阀至出风风阀依次设置有预冷盘管、加湿器和再冷盘管；所述预热盘管、预冷盘管、加湿器、再冷盘管以及再热盘管彼此之间形成空气夹层。

作为本实用新型的用于洁净室的新风机组系统的一种优选方案，所述再热盘管和出风风阀之间自进风风阀至出风风阀依次设置有送风动力设备以及过滤器；所述再热盘管、送风动力设备、和过滤器依次排列并且彼此之间形成空气夹层。

作为本实用新型的用于洁净室的新风机组系统的一种优选方案，所述过滤器包括化学过滤器以及位于所述化学过滤器与出风风阀之间的高效过滤器。