[实用新型]微波天线

说明书

技术领域

本实用新型涉及微波电子技术领域，特别是涉及一种微波天线。

背景技术

传统的PECVD设备，利用一根管径均匀的铜管作为微波天线。由于微波天线管径均匀分布的形状，在电磁波传输过程中发生衰减时，空间中靠近天线中间部分的能量强度要低于两端，这会导致硅片上镀膜不均匀。目前，如何改善硅片镀膜不均匀的问题，尚未得到解决。另外，传统的微波天线的防腐效果均不明显，也需要得到改进。

实用新型内容

基于此，针对上述问题，有必要提出一种硅片镀膜均匀、防腐效果好的微波天线。

本实用新型的技术方案是：一种微波天线，包括呈弧形设置的第一管径段，所述第一管径段的两端分别连接有第二管径段和第三管径段；所述第一管径段横截面的内径为4mm，长度为52cm；所述第二管径段横截面的内径为8mm，长度为25cm；所述第三管径段横截面的内径为9mm，长度为28cm；所述第一管径段的外表面设有防腐材料层。

在优选的实施例中，所述第二管径段与所述第三管径段均通过过度管径与所述第一管径段连接，所述过度管径呈喇叭状。

在优选的实施例中，所述第二管径段与所述第三管径段的外表面均设有防腐材料层。

本实用新型的有益效果是：

（1）位于中间的第一管径段的内径小于位于两端的第二管径段和第三管径段的内径，并且第一管径段为弧形的设计，很好增加了微波天线中间部分的电磁波能量强度，从而增加了石墨舟中间部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均匀性；

（2）设置的防腐材料层，能够有效使微波天线的防腐性能得到很好的增加。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述微波天线的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中第一管径段横截面的结构示意图；

附图标记说明：

10-第一管径段，20-第二管径段，30-第三管径段，40-过度管径，50-防腐材料层。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

实施例：

如图1和图2所示，一种微波天线，包括呈弧形设置的第一管径段10，所述第一管径段10的两端分别连接有第二管径段20和第三管径段30。所述第一管径段10横截面的内径为4mm，长度为52cm。所述第二管径段20横截面的内径为8mm，长度为25cm。所述第三管径段30横截面的内径为9mm，长度为28cm；所述第一管径段10的外表面设有防腐材料层50。

本实施例中，所述第二管径段20与所述第三管径段30均通过过度管径40与所述第一管径段10连接，所述过度管径40呈喇叭状。所述第二管径段20与所述第三管径段30的外表面均设有防腐材料层50。

本实施例所述的微波天线，位于中间的第一管径段10的内径小于位于两端的第二管径段20和第三管径段30的内径，并且第一管径段10为弧形的设计，很好增加了微波天线中间部分的电磁波能量强度，从而增加了石墨舟中间部分硅片的PECVD膜厚度，改善了硅片膜厚的均匀性。设置的防腐材料层50，能够有效使微波天线的防腐性能得到很好的增加。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。