[实用新型]一种紫外激光打孔机

权利要求书

1.一种紫外激光打孔机，包括机箱（1）和操作机构（2），机箱内设有电箱，机箱上端面设有Y轴导轨（3），该Y轴导轨上设有工作台（5），其特征在于，所述机箱上端面装有激光器（13）、扩束镜（14）、反射镜组和支架（7），扩束镜位于激光器的输出端轴线上，支架上设有X轴导轨（6），X轴导轨上装有滑动块（4），该滑动块（4）上设有Z轴升降机构（9），该Z轴升降机构上装接有扫描振镜（20）、聚焦透镜（10）及成像装置（15）。

2.根据权利要求1所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述反射镜组包括第一反射镜（81）、第二反射镜（82）、第三反射镜（83）和第四反射镜（84），第一反射镜与扩束镜位于同一水平轴线上，第二反射镜装在支架上，第三反射镜和第四反射镜均装在滑动块上。

3.根据权利要求2所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述滑动块上装设的Z轴升降机构（9）上还安装有激光位移传感器（12），该激光位移器位于聚焦透镜的侧边。

4.根据权利要求3所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述工作台为真空吸附式工作台。

5.根据权利要求4所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述滑动块上还装设有烟尘抽气器（11）。

6.根据权利要求5所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述机箱下底面设有调平脚垫（16）。