[实用新型]单晶炉真空管道清洁器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉真空管道清洁器。

背景技术

制备单晶硅的时候，要用真空泵将单晶炉内抽成真空，达到生产所需的状态。当前光伏产业迅猛发展，单晶硅大规模量产，生产规模日益壮大，单晶炉的数量也随之增大。考虑到单晶炉的布局与美观，往往形成很大的阵列。这样真空泵和单晶炉之间就产生了很大的距离，一般会用很长的管道将两者连接。连接的真空管道使用一段时间后，管道内部就容易积聚挥发物，附着在管道内壁上，久而久之容易引出管道堵塞，影响生产。由于真空管道很长，因此不便于清理，真空管道的清理疏通成为棘手的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能更快、更彻底清洁真空管道内壁附着的挥发物和燃烧产物的单晶炉真空管道清洁器。

实现本实用新型的技术方案如下：一种单晶炉真空管道清洁器，包括手柄和手柄下端固定连接的板，所述板前端为斜边，板前端中心往两边开有V型凹槽。

所述板的横截面为弧形。

所述板为不锈钢材料制成。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单、使用方便，斜边和凹槽使板和真空管道的内壁连续接触两次，使真空管道内壁附着的挥发物和燃烧产物能清洁得更彻底，效率更高。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。其中：

图1为本实用新型的结构示意图；

附图中，1为手柄，2为板，3为斜边，4为V型凹槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行进一步说明；

参见图1所示，一种单晶炉真空管道清洁器，包括手柄1和手柄下端固定连接的板2，所述板2前端为斜边3，板2前端中心往两边开有V型凹槽4。所述板的横截面为弧形。所述板为不锈钢材料制成。

使用时，操作者手持手柄将板置于单晶炉内壁的抽气口位置，使板前端紧贴单晶炉内壁，开启连接单晶炉的真空泵，真空泵开启后会在真空管道这个密闭空间内制造真空。当达到一定压力差后，迅速提拉手柄1，使板脱离抽气口，瞬时压力差产生强气流，将真空管道内的挥发物带走。

本实用新型并不局限于所述的实施例，本领域的技术人员在不脱离本实用新型的精神即公开范围内，仍可作一些修正或改变，故本实用新型的权利保护范围以权利要求书限定的范围为准。