[实用新型]一种激光分束振镜扫描加工装置

权利要求书

1.一种激光分束振镜扫描加工装置，其特征在于：包括光束控制模块、激光分束模块和振镜扫描聚焦模块，入射光束依次经过所述光束控制模块、所述激光分束模块照射到所述振镜扫描聚焦模块；或者入射光束依次经过所述激光分束模块、所述光束控制模块照射到所述振镜扫描聚焦模块； 

所述光束控制模块用于调节照射到其上的激光光束的状态；所述光束控制模块包括激光扩束单元，所述激光扩束单元用于对所述照射到其上的激光光束进行扩束准直；或者所述光束控制模块包括所述激光扩束单元和光束动态控制单元，所述光束动态控制单元用于调节照射到其上的激光光束的运动状态； 

所述激光分束模块，用于对照射在其上的激光光束进行分束，形成多光束组，所述多光束组内的各光束与所述照射到所述激光分束模块上的所述激光光束保持同步静止或者同步运动； 

所述振镜扫描聚焦模块，包括扫描振镜和扫描平场聚焦镜；或者包括扫描振镜、扫描平场聚焦镜和运动平台，所述运动平台为一维或者多维运动平台；所述扫描平场聚焦镜用于对从所述扫描振镜输出的多光束组的各光束进行聚焦形成聚焦光束组，所述扫描振镜用于控制所述聚焦光束组的各个激光焦点在不同加工单元的空间位置高速切换，或者在一个加工单元处对所述聚焦光束组的各个激光焦点扫描运动进行辅助运动控制；所述一维或者多维运动平台用于承载加工工件以及完成加工区域的切换，或在一个加工单元处对所述聚焦光束组的各个激光焦点扫描运动进行辅助运动控制。 

2.根据权利要求1所述的一种激光分束振镜扫描加工装置，其特征在于：所述激光分束模块为第一分束单元、第二分束单元、第三分束单元的任意一种；或者所述激光分束模块为第一分束单元、第二分束单元、第三分束 单元中至少两种的串联组合，所述串联组合用于对照射到其上的激光光束进行分束，形成多光束组； 

所述第一分束单元为微光学元件的任意一种或者多种的串联组合，所述微光学元件用于对照射在其上的激光光束进行分光；所述微光学元件包括二元光学元件、衍射光栅、微透镜阵列或全息光学元件；所述衍射光栅包括一维透射式衍射光栅、二维透射式衍射光栅、三维透射式衍射光栅或反射式光栅； 

所述第二分束单元为光学薄膜分光器件与光学反射镜的串联组合；或者所述第二分束单元为光学薄膜分光器件、光学反射镜和玻片的串联组合； 

所述第三分束器件为双折射晶体与光学反射镜的串联组合；或者所述第三分束单元为双折射晶体、光学反射镜和玻片的串联组合。 

3.根据权利要求1或2所述的一种激光分束振镜扫描加工装置，其特征在于：所述激光分束模块与所述振镜扫描聚焦模块的间距可调；所述激光分束模块的分光面根据所述激光分束模块的转动而变化。 

4.根据权利要求3所述的一种激光分束振镜扫描加工装置，其特征在于：所述激光分束振镜扫描加工装置包含一个或多个串联的光束动态控制单元。 

5.根据权利要求4所述的一种激光分束振镜扫描加工装置，其特征在于：所述光束动态控制单元为第一控制子单元、第二控制子单元、第三控制子单元、第四控制子单元的任意一种；或者所述光束动态控制单元为第一控制子单元、第二控制子单元、第三控制子单元、第四控制子单元中至少两种的串联组合，所述串联组合用于调节照射到其上的激光光束的运动状态； 

所述第一控制子单元包括透射光学元件以及用于控制所述透射光学元件进行摆动或者平移的电机或压电陶瓷； 

所述第二控制子单元包括反射光学元件以及用于控制所述反射光学元 件进行偏转或者平移的电机或压电陶瓷； 

所述第三控制子单元包括声光调制器，所述声光调制器通过改变驱动源的载波频率调节所述激光光束的布拉格光栅反射角，改变所述激光光束传输状态； 

所述第四控制子单元包括一个激光光束旋转子单元或者至少两个串联的激光光束旋转子单元；所述激光光束旋转子单元包括旋转透射光学元件以及用于控制所述旋转透射光学元件做旋转运动的驱动装置；当所述第四控制子单元为两个或两个以上串联的激光光束旋转子单元时，所述激光光束旋转子单元各自独立控制旋转，所述前一激光光束旋转子单元输出光束的光轴沿着其入射光的光轴进行自转，后一激光光束旋转子单元的输出光束的光轴沿着前一激光光束旋转子单元输出光束的光轴进行公转，并且还沿着公转轨迹进行自转。