[实用新型]两端全开启式真空室

说明书

技术领域

本实用新型具体涉及两端全开启式真空室，用于真空镀膜设备的真空室，属机械制造领域。

背景技术

真空镀膜是需要在较高真空度条件下进行的镀膜，因此镀膜的关键在与真空室，通常的真空为一端可开启，另一端为固定封闭式，可开启的一端采用推拉开启方式，通常的开启方式存在镀膜件的进出只能单一从一个开口出入，进出不便，真空室内需要清洁时，封闭一端不易清洁，需要工人进入室内，带来许多不便和安全问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理，安装维护方便的两端全开启式真空室。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：该两端全开启式真空室,包括腔体、法兰门板所述腔体上设有抽气孔，其特征在于：腔体两端均设有开口，腔体两端采用法兰门板封闭开口，腔体横截面呈圆形。

本实用新型所述两个开口在同一中轴线上。

本实用新型还包括移动架，所述移动架与法兰门板固定安装。

本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果：

1、该结构的真空室安装、维护方便，真空室内的靶材清洁方便。

    2、真空室为两端开启结构，镀膜件可从一端进出、靶材可从另一端进出，实现了流水线式加工作业，提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例：

参见图1，本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：该端全开启室真空室,包括腔体1、法兰门板2所述腔体上设有抽气孔3，所述腔体1两端均设有开口11，腔体1两端采用法兰门板2封闭开口11，所述两端的两个开口11在同一中轴线上，一个开口11对应一个法兰门板2。

本实用新型还包括移动架4，法兰门板2下端与移动架4固定连接，移动架4支撑法兰门板2的移动，所述移动架4包括支撑板41，滚轮42，支撑板41支撑法兰门板2，滚轮42与支撑板41转动连接，因此法兰门板2的开合更加轻松，便捷。

此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其各部分名称等可以不同，凡依本实用新型专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本实用新型专利的保护范围内。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。