[实用新型]金刚石线超声波清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及金刚石线清洗装置，尤其是一种金刚石线超声波清洗装置。 

背景技术

金刚石线切割机对于太阳能硅材料切割行业而言，是革命性的进步。金刚石线切割机切割工艺已经在日本90%以上用户普及使用，在欧美20%以上用户使用。目前国内市场上的金刚石线切割机主要被国外公司垄断，在太阳能硅材料切割用的金刚石线切割机市场上，中国制造尚处于空白状态，与传统的钢线和砂浆切割方式相比，金刚石线切割机具有诸多优点：可实现高速切割，环保生产，成本低廉等等，而且与国外同类型产品相比具有明显的性价比优势。高速切割是针对传统的砂浆切割方式而言，速度是该传统工艺切割的2-3倍，能够使用户降低采购设备成本，同时也能使用户能够承接较大的订货量。环保生产也是针对传统的砂浆切割方式而言，传统工艺切割环境恶劣，不环保，且大量的砂浆需要回收处理，耗用大量的人力和财力成本，而金刚石线切割机的工艺却无须砂浆，只需要水或是水基冷却清洁液就可以，真正实现了环保生产和制造。金刚石切割线对比传统钢线优势非常明显，用同样设备采用电镀金刚石钢丝线切割多晶硅碇，比采用砂浆切割所用时间大大缩短，最大限度地发挥了设备效能；设备应用环境得到有效改善，提高设备使用寿命；设备实际使用功率减小。金刚石线在完成一次线切割后需要进行清洗，去除金刚石线表面的硅料，以便后续继续使用，普通的清洗方法和清洗设备难以去除粘附在金刚石线上的硅料，影响了金刚线的再次利用。 

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中金刚石线的难以清洗，影响后续使用的技术问题，提供一种金刚石线超声波清洗装置，通过超声波清洗金刚线，可实现连续化生产，效果好，效率高。 

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种金刚石线超声波清洗装置，包括清洗槽和超声波装置，所述的超声波装置包括超声波发生器、超声波换能器和至少一个超声波振动板，所述的超声波振动板设置在清洗槽内，所述的清洗槽的中部开设有金刚石线的进口和出口，所述的清洗槽上设有清洗液补充装置。金刚石线完成切割后直接从清洗槽的进口穿射至出口，通过超声波振动板使清洗槽内的清洗液作用在金刚石线表面，超声波带动金刚石线上的残余硅颗粒一起振动，并随之脱落，从出口出来的干净的金刚线可立即进行新硅片的切割，完成金刚石线的在线连续化清洗。 

进一步的，也为便于离线集中清洗，所述的清洗槽的进口处设有金刚石线放卷装置，清洗槽的出口处设有金刚石线的收卷装置， 

作为优选的，所述的超声波振动板的数量为两个，所述的两个超声波振动板夹设在清洗槽进口和出口上下两侧。即金刚石线从两个超声波振动板之间穿射而过，使得金刚石线整个表面得到彻底的清洗。 

进一步的，所述的清洗槽包括上槽体和下槽体，所述的上槽体与下槽体直接可拆卸连接。为便于金刚石线穿过清洗槽，便于金刚石线穿过，所述的上槽体与下槽体之间可翻转连接。 

进一步的，为便于控制清洗槽内的液位，所述的上槽体设有液位计。 

进一步的，为确保清洗槽内的清洗液浸没金刚石线，所述的清洗槽的槽体的进口和出口处分别设有溢流槽。 

进一步的，所述的溢流槽为围绕在清洗槽周向的环形结构。 

具体的，所述的清洗液补充装置包括一蓄液槽，所述的蓄液槽分别通过管道与溢流槽和清洗槽形成循环回路，蓄液槽与清洗槽之间的管道上设有泵体和开关阀。 

进一步的为去除清洗液中的硅料，所述的蓄液槽与溢流槽和清洗槽之间的管道上设有过滤装置。 

进一步的，所述的蓄液槽与清洗槽之间的管道上设有压力表。 

本发明的有益效果是，本发明的金刚石线超声波清洗装置，结构简单，构思新颖，可实现金刚石线的连续化超声清洗，效率高，效果好，更可实现金刚石线的在线清洗，在切割硅片后立即进行清洗，此时清洗硅料也更容易被去除，以便于金刚石线的后续利用，提高金刚石线的利用率，降低金刚石线的使用成本，便于金刚石线切割的推广,在线清洗时超声波使金刚线产生微震动，可使被切割物体的切割面平整、光洁，减少后序的磨、抛工序或工作量，并能使金钢线的寿命加长。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。 

图1是本发明的金刚石线超声波清洗装置第一个实施例的结构示意图。 

图2是本发明的金刚石线超声波清洗装置第二个实施例的结构示意图。 

图3是本发明的金刚石线超声波清洗装置第三个实施例的结构示意图。