[实用新型]一种气路快速连接装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气路快速连接装置，属于真空镀膜设备技术领域。

背景技术

目前，由于维护和检修的需要，真空镀膜设备的气体分配器与气体管路之间需要经常性的分离和结合，故而在气体分配器与气体管路之间需要一个可以实现快速连接及分离的连接装置。目前的连接装置多采用螺纹连接的方式（如专利：CN101893147A），其不足在于插头、插座分属两个部分，且插头、插座与气路连接仍需螺纹、卡套等连接，所述连接及分离操作不方便，并且这种连接方式需要精确对位，长时间使用后会因插合不到位产生泄露及损伤，因此需要一种新的装置及连接方式来满足这些应用。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种气路快速连接装置，它能够在真空环境下实现快速连接及分离。

本实用新型的目的是这样实现的：一种气路快速连接装置，它包括装置本体，所述装置本体内设置相互配合的外对接端子和内对接端子，所述内对接端子位于外对接端子下方，所述外对接端子与装置本体之间设置有弹簧件，所述弹簧件与装置本体之间设置有弹簧垫片，所述外对接端子与内对接端子之间设置有密封件。

所述外对接端子外侧设置有装置盖板。

所述弹簧垫片采用橡胶材质。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型一种气路快速连接装置，它将气路连接部分的内对接端子（等效于气路插头）、外对接端子（等效于气路插座）集成在一个装置内，外接气路连接不需要采用螺纹等方式与之连接，使得本装置具有结构简单，连接可靠，操作简单，拆装容易，可清洗、密封性能良好等特点，更由于本装置采用了具有密封作用的弹簧垫片使本装置尤其适合在有污染物生成的环境下工作。

附图说明

图1为本实用新型一种气路快速连接装置的结构示意图。

图2为本实用新型一种气路快速连接装置处于分离状态的示意图。

图3为本实用新型一种气路快速连接装置处于连接状态的示意图。

其中：

装置本体1

弹簧垫片2

弹簧件3

密封件4

外对接端子5

内对接端子6

紧固螺栓7

气体管路密封件8

气体分配器入气口9

气体分配器10

装置盖板11

外端子密封件12

气体管路入气口13

真空腔室内壁14。

具体实施方式

参见图1~图3，本实用新型一种气路快速连接装置，它包括装置本体1，所述装置本体1内设置相互配合的外对接端子5和内对接端子6，所述内对接端子6位于外对接端子5下方，所述外对接端子5与装置本体1之间设置有弹簧件3，所述弹簧件3与装置本体1之间设置有弹簧垫片2，所述外对接端子5与内对接端子6之间设置有密封件4，所述外对接端子5外侧设置有装置盖板11，所述弹簧垫片2采用橡胶材质。

紧固螺栓7本装置固定于真空腔室内壁并使气体管路入气口13、气体管路密封件8、装置主体1紧密结合，气体管路与本装置气路实现气密连接，装置与气体分配器10快速连接过程说明：当气体分配器10与本装置接触时，外对接端子5承担外力将向下运动与内对接端子6接触，由于内对接端子6外圆有一定锥度以及外对接端子5内部的喇叭口设计使外对接端子5与内对接端子6能快速准确结合，由于外对接端子5内嵌至少一条密封件使得外对接端子5与内对接端子6导通的同时能得到有效的密封。外对接端子5向下运动的同时，弹簧件3将被压缩并对外对接端子5形成反作用力，由于反作用力及外对接端子5承担外力的作用使得外对接端子5、气体分配器入气口9、外对接端子密封件12紧密结合并达到良好的密封效果。至此气体快速连接装置完成快速连接过程。

所述装置与气体分配器快速分离过程说明：当气体分配器10由于外力作用与本装置分离时，外对接端子5由于弹簧件3的作用将向上运动与内对接端子6分离，使本装置恢复到待连接状态。所述真空腔室内壁14与装置主体1结合面及气体管路入气口13与装置主体1结合面，均为光滑平面以利于气密连接；所述气体分配器入气口9处与装置主体1结合面为光滑平面以利于气密连接；所述弹簧垫片2采用橡胶材质，在装置快速连接时，将被外对接端子5严密挤压并由于橡胶材质的膨胀性在弹簧件3上方起到了阻隔外界气体的作用保护弹簧件3不受腐蚀及外部污染。

以上仅是本实用新型的优选实施方案，对本技术领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。