[实用新型]过滤器滤材和过滤器单元

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材和使用该过滤器滤材的过滤器单元，特别是涉及对能够捕集该颗粒的滤材原材进行褶锏加工而成的过滤器滤材和使用该过滤器滤材的过滤器单元。

背景技术

以往，作为在制造半导体、液晶的工厂的无尘室等中使用的过滤器滤材，公知有图6所示那样的过滤器滤材100。该过滤器滤材100是通过对构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材200在多处弯曲而形成为皱襞状而成的。

该过滤器滤材100包括通过使滤材原材200弯曲而形成的弯曲部100a、以滤材原材200中的除弯曲部100a之外的区域相对的方式配置而形成的多个平板部100b、以及用于保持相邻的平板部100b、100b彼此的间隔的多个间隔保持部300。

该间隔保持部300由多个肋（bead）部300a形成，肋部300a是通过在滤材原材200的两个面上空开间隔地涂敷粘接剂（热熔胶等）而形成的。具体地讲，间隔保持部300是通过在滤材原材200的一面侧中的各平板部100b之间及另一面侧中的各平板部100b之间将一面侧和另一面侧的肋部300a、300a分别接合而形成的。也就是说，间隔保持部300形成在滤材原材200的一面侧中的各平板部100b之间及另一面侧中的各平板部100b之间。

如图7的（a）所示，像上述那样构成的过滤器滤材100被收容在以能够收容过滤器滤材的方式构成的框体A内而构成过滤器单元110。该框体A包括：一对相对壁A1、A1，其以空开间隔地相对的方式配置；以及连结壁A2，其将该一对相对壁A1、A1的外周部彼此连结起来。并且，构成为能够在由一对相对壁A1、A1和连结壁A2围成的空间（以下也记作内部空间）AR内收容过滤器滤材100。一对相对壁A1、A1具有与内部空间AR相连通的开口部A3、A3。由此，框体A构成为能够使被过滤气体自一个开口部A3侧朝向另一个开口部A3侧地通过内部空间AR。

由框体A收容的过滤器滤材100配置于内部空间AR中的一个相对壁A1侧，过滤器滤材100的外周部固定于框体A。由此，在过滤器滤材100与另一个相对壁A1之间形成有间隔。

像上述那样构成的过滤器单元110以使过滤器滤材100的长度L1方向与被过滤气体的流通方向F交叉（具体地讲是大致正交）的方式配置。也就是说，过滤器单元110以使被过滤气体自过滤器滤材100的高度L3方向与过滤器滤材100相接触的方式配置。由此，自框体A的一个开口部A3流入到过滤器单元110的内部的被过滤气体在内部空间AR内透过过滤器滤材100而自框体A的另一个开口部A3排出。

因此，当使被过滤气体在过滤器单元110内流通时，由于被过滤气体的风压、过滤器滤材100的压力损失的上升，如图7的（b）所示，有可能过滤器滤材100的中央部会朝向被过滤气体的流通方向F的下游侧鼓出而使过滤器滤材100成为弯曲了的状态。

这样的过滤器滤材100的弯曲会导致过滤器单元的压力损失的增加或过滤效率的降低。另外，当过滤器滤材100的弯曲变得过大时，有时还会产生过滤器单元110的破损。

作为防止上述那样的过滤器滤材的弯曲的方法，提出有各种方案。例如，提出有如下的方法：通过降低用于构成过滤器滤材的滤材原材的初始的压力损失、或者使过滤器滤材的有效面积增加，从而降低过滤器滤材的时效变化的压力损失的上升而抑制因风压产生的过滤器滤材的弯曲（参照专利文献1）。另外，提出有如下的方法：将刚性高于过滤器滤材的刚性的构件（以下也记作刚性构件）安装于过滤器滤材，从而利用该刚性构件来抑制过滤器滤材的弯曲（参照专利文献2和专利文献3）。

然而，如上所述，在降低过滤器滤材的时效变化的压力损失的上升的方法中，对来自被过滤气体的颗粒进行捕集的捕集性能有可能降低。另外，如上所述，在使用刚性构件的方法中，要花费用于准备刚性构件的成本，而且在制作过滤器滤材、过滤器单元时花费的劳力和时间，这会导致生产效率的降低。

专利文献1：日本特开2002－292215号公报

专利文献2：日本特开平11－42410号公报

专利文献3：国际公开第2005/077492号文件

实用新型内容

因此，本实用新型的课题在于，提供能够防止因被过滤气体的风压而产生意外的变形的过滤器滤材和使用该过滤器滤材的过滤器单元。