[实用新型]悬臂探针装置

权利要求书

1.一种悬臂探针装置，用以与硅片管脚接触，实现对硅片的检测，包括探头，其特征在于：还包括悬臂与弹簧金属结构，所述探头通过所述弹簧金属结构与所述悬臂连接，且所述探头通过所述弹性金属结构沿所述探头的长度方向实现弹性伸缩。

2.如权利要求1所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述弹簧金属结构至少包括一个弹簧片，所述弹簧片的两端分别连接所述悬臂和探头。

3.如权利要求2所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述弹簧金属结构还包括壳体和固定设在所述壳体内的固定块，所述壳体的一端与所述悬臂固定连接，所述弹簧片的一端通过所述固定块与所述壳体连接，进而实现与悬臂的连接。

4.如权利要求3所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述壳体为两端贯通的圆筒结构。

5.如权利要求4所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述壳体的内表面设有内螺纹，所述悬臂末端设有外螺纹，所述壳体和悬臂通过所述内螺纹与外螺纹的匹配连接实现固定连接。

6.如权利要求3所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述探头包括基础部与针部，所述基础部的直径大于所述针部，所述基础部仅在所述壳体内部移动，所述弹簧片通过所述基础部与所述针部连接，所述针部穿过所述壳体的一端连通至外部空间，与硅片管脚接触。

7.如权利要求6所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述壳体的一端设有限位环，所述针部穿过所述限位环形成的圆孔联通至外部空间，所述圆孔的直径小于所述基础部的直径。

8.如权利要求1所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述悬臂至少包括连接段以及使用时用以垂直接触硅片管脚的垂直段，所述垂直段的两端分别连接所述连接段和所述弹簧金属结构。

9.如权利要求1至8任意之一所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述悬臂、弹簧金属结构和探头的材质均为金属。

10.如权利要求9所述的悬臂探针装置，其特征在于：所述悬臂、弹簧金属结构和探头的材质为铜、铁、钨、钯、镍铬合金、铜铍合金和钨铼合金其中之一。