[实用新型]一种曝光机的平行光镜调整机构有效
申请号: | 201320646978.6 | 申请日: | 2013-10-18 |
公开(公告)号: | CN203551945U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 黄建 | 申请(专利权)人: | 志圣科技(广州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/198 |
代理公司: | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 任琳 |
地址: | 510850 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 平行 调整 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机,尤其涉及一种曝光机的平行光镜调整机构。
背景技术
如图1所示为现有技术中的曝光机的平行光镜调整机构,这种曝光机的平行光镜调整机构采用四点调整和固定。在调整平行光镜的角度(以满足达到紫外光照射到工作平台的倾斜角度达到要求)过程中,需将平行光镜固定组1a抬起来,多次反复调整平行光镜在四个角A、B、C、D固定螺丝2a处的高度,较为繁琐,花费的时间较长;同时,调整后,平行光镜固定组1a需在该四个调节处固定,此时,平行光镜固定组1a在该A、B、C、D四个点的位置往往不在一个平面,在这四个点的螺母3a固锁时,会导致平行光镜变形,而平行光镜为石英玻璃材质,因而易导致平行光镜破损。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种曝光机的平行光镜调整机构,可避免平行光镜变形而破损。
为实现上述目的,本实用新型提供一种曝光机的平行光镜调整机构,包括具有四个侧边的平行光镜固定组,所述平行光镜固定组的四个侧边中的其中两个相对的侧边设有用于调节所述平行光镜固定组高度的第一调节装置,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组的第二调节装置。
较佳地,所述第一调节装置包括第一平行光镜固定座,所述平行光镜固定座侧向延伸有上安装部和下安装部,所述上安装部上安装有竖向设置的可调节的上螺杆,所述上螺杆上紧固有夹持在所述上安装部上下侧的两个上螺母,所述下安装部上安装有竖向设置的可调节的下螺杆,所述下螺杆上紧固有夹持在所述下安装部上下侧的两个下螺母,所述第一平行光镜固定座上还安装有夹持在所述上螺杆和下螺杆之间的横向的平行光镜固定螺丝,所述平行光镜固定螺丝固定在所述平行光镜固定组上,所述平行光镜固定螺丝上紧固有夹持在所述平行光镜固定座两侧的两个第一螺母。
较佳地,所述第二调节装置包括第二平行光镜固定座,所述第二平行光镜固定座上固定有螺杆,所述螺杆安装在所述平行光镜固定组上,且所述螺杆上紧固有夹持在所述平行光镜固定组上下侧的两个第二螺母。
较佳地,所述平行光镜固定组设有所述第二调节装置的侧边侧向延伸有安装片,所述螺杆穿过所述安装片,所述的两个第二螺母夹持在所述安装片的上下侧。
较佳地,所述第一调节装置和所述第二调节装置均位于相应侧边的中部。
与现有技术相比,本实用新型的曝光机的平行光镜调整机构通过在平行光镜固定组的两个相对侧边设置第一调节装置,在衔接该两个侧边的其中一个侧边设置第二调节装置,两个第一调节装置和一个第二调节装置形成三点调整,可有效的调整平行光镜的角度及高度位置,以调整照射到工作台面上的紫外光的倾斜角度,降低了现有技术中的四点调整机构调整的难度,提高了工作效率,避免了平行光镜破损;且结构简单,实用性强。
通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。
附图说明
图1为现有技术中的平行光镜调整机构的结构示意图。
图2为本实用新型曝光机的平行光镜调整机构的结构示意图。
图3为平行光镜固定组与其中一第一调节装置的分解示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。
请参考图2-3,所述的曝光机的平行光镜调整机构包括平行光镜固定组1,所述平行光镜固定组1具有四个侧边,所述平行光镜固定组1的四个侧边中的其中两个相对的侧边分别设有用于调节所述平行光镜固定组1高度的第一调节装置2,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组1的第二调节装置3。本具体实施例中,所述的两个第一调节装置2位于所述平行光镜固定组1的前后侧,所述第二调节装置3位于所述平行光镜固定组1的左侧。所述第一调节装置2和所述第二调节装置3均位于相应侧边的中部。所述的两个第一调节装置2和所述第二调节装置3构成A、B、C三点调整、固定的设计。
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