[实用新型]空气采样监测专用托架

说明书

技术领域

本实用新型涉及空气的采样监测技术领域，尤其是一种空气采样监测专用托架，该专用托架适用于半导体生产的洁净室。

背景技术

随着IC生产的飞速发展，空气中的AMC（Airborne Molecular Contamination，气态分子污染）问题越来越受到重视。其结果已直接影响到产品的成品率和可靠性，所以应加以控制。

针对AMC监控，目前所采取的是浓缩采样法：即用采样泵使得大量的空气样品通过两个串联的采样瓶，将空气样品中的酸性和/或碱性的气态污染物采集在采样瓶中，之后分析阴阳离子浓度得到监测结果。采样溶液为纯水；采样时间一般为24小时；采样高度离地面1.2米高。在采样时，样品的稳定、时间控制、流量设置、放置的高度及空间位置摆放决定了数据的可靠性及真实性。

从目前的实际工作看，洁净室空气监测的采样无标准的专用托架置放。通常为就地取材，随意性较大，采样受到区域的限制，而且不方便，不规范，不安全，甚至发生样品碰撞，导致采样实验的结束，无法及时获取有效数据。本实用新型针对此情况而设计一种监测专用采样托架，以解决上述的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的是设计一种监测专用采样托架，以解决目前洁净室空气监测无标准的专用托架的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：一种空气采样监测专用托架，包括：竖直布置的主杆，连接于主杆底部的伸缩支架，连接于主杆上的卡口，连接于所述卡口上的瓶托，以及设置于主杆上的采样泵连接口。

优选的，所述伸缩支架为围绕主杆均匀布置的三根；所述伸缩支架与主杆转动连接。

优选的，所述卡口能够沿着主杆的延伸方向进行位置调节；所述卡口的侧面形成多个沿着圆弧形分布的插槽，每个插槽中能够插入一个所述瓶托。

本实用新型提出的空气采样监测专用托架，具有占用空间小，结构稳固，携带方便的优点；在任何环境下都可以用规范的条件进行空气的采样，使氛围气采样更有效，更规范；并且结构简单，造价低。

附图说明

通过附图中所示的本实用新型的优选实施例的更具体说明，本实用新型的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1是本实用新型所提出的一种空气采样监测专用托架立体图；

图2是图1中卡口与瓶托配合结构的放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例作详细说明：本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

参见图1，本实施例的空气采样监测专用托架包括竖直布置的主杆1，连接于主杆1底部的伸缩支架2，连接于主杆1上的卡口3，连接于所述卡口3上的瓶托4，以及设置于主杆1上的采样泵连接口5。

其中，伸缩支架2为围绕主杆1均匀布置的三根，使得该托架的底部呈三脚架设计，因而托架放置更加稳固。且所述伸缩支架2与主杆1转动连接，在托架不使用的状态下，可以将伸缩支架2收拢，减小占地面积。

所述卡口3能够沿着主杆1的延伸方向进行位置调节，以满足各种采样高度的要求。所述卡口3的侧面形成多个沿着圆弧形分布的插槽30，每个插槽30中能够插入一个瓶托4，因此每个卡口3中可以同时插入多个瓶托4，解决采样时多个瓶子的放置。

在实际进行空气采样监测时，将伸缩支架2展开，使得主杆1稳固地位于地面。调节卡口3在主杆1上的位置至合适高度。在卡口3上插入两个瓶托4，每个瓶托4内分别放置一只采样瓶6。在采样泵连接口5上连接一只采样泵7，采用导管将两只采样瓶6与采样泵7如图1所示串联，开启采样泵7即能开始进行采样。

由于在洁净室内进行氛围气采样时，样品的稳定保障、时间控制、流量设置及空间位置摆放等关键要素决定了采样分析所得数据的可靠性及真实性。

采用上述专用托架可以解决现有技术中的缺点，该专用托架的优点如下：

1）占用的空间小。与原先的推车相比，此托架可以适用在空间更狭小的区域，适用的范围更广。

2）多功能的卡口是此托架的关键。上下移动的功能可以改善采样高度的需求，卡口上的插槽，可以同时插入多个瓶托，解决采样时多个瓶子的放置。

3）瓶托的设计，使样品的放置更有灵活性。

4）底部三角架的设计，使此托架放置起来更稳固。

本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定权利要求，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。