[实用新型]多级过滤装置

说明书

技术领域

 本实用新型属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种多级过滤装置。

背景技术

目前，MOCVD作为一种LED外延片生产设备，其生产过程中将会产生一定量的废气，废气排出前，先经过滤车过滤处理，以免对环境造成污染，现有技术的过滤车内装有滤芯，可对流经气体进行过滤，现有技术的过滤车使用的GEN2滤芯成本较高，一次安装需前后级滤芯各8支，使用数量相对较多，增加了生产成本，而且过滤容量较小、过滤效果较差，并且滤芯需频繁更换，也同时影响了设备的正常运行，降低了设备的作业效率。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种过滤容量较大、过滤效果较好、滤芯无需频繁更换、可有效设备的作业效率的多级过滤装置，其具体方案为：所述的多级过滤装置由前盖、检修口、初级滤层、壳体、后盖、排气口、进气口、排污口、一级滤芯、二级滤芯组成，其特征是壳体的外部前端设置前盖，壳体的外部后端设置后盖，前盖的前端设置进气口，后盖的后端设置排气口，壳体的内部前端设置初级滤层，初级滤层的内侧设置一级滤芯，壳体的内部后端设置二级滤芯。

本实用新型所述的初级滤层，其特征在于初级滤层的上侧设置检修口，初级滤层的下侧设置排污口，初级滤层的内部设置滤网，滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。

本实用新型所述的一级滤芯，其特征在于一级滤芯的材质采用纤维。

本实用新型所述的二级滤芯，其特征在于二级滤芯的材质采用滤纸。

本实用新型的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大，过滤效果较好，滤芯无需频繁更换，可有效设备的作业效率，降低生产成本。

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：

1. 前盖，2. 检修口，3. 初级滤层，4. 壳体，5. 后盖，6. 排气口，7进气口.，8. 排污口，9. 一级滤芯，10. 二级滤芯。

具体实施方式

结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的多级过滤装置由前盖1、检修口2、初级滤层3、壳体4、后盖5、排气口6、进气口7、排污口8、一级滤芯9、二级滤芯10组成，其特征是壳体4的外部前端设置前盖1，壳体4的外部后端设置后盖5，前盖1的前端设置进气口7，后盖5的后端设置排气口6，壳体4的内部前端设置初级滤层3，初级滤层3的内侧设置一级滤芯9，壳体4的内部后端设置二级滤芯10。

本实用新型所述的初级滤层3，其特征在于初级滤层3的上侧设置检修口2，初级滤层3的下侧设置排污口8，初级滤层3的内部设置滤网，滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。

本实用新型所述的一级滤芯9，其特征在于一级滤芯9的材质采用纤维。

本实用新型所述的二级滤芯10，其特征在于二级滤芯10的材质采用滤纸。

本实用新型的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大，过滤效果较好，滤芯无需频繁更换，可有效设备的作业效率，降低生产成本。