[实用新型]石英玻璃加热清洗槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于清洗半导体硅片的石英玻璃加热清洗槽。

背景技术

    目前，硅晶片的清洗通常是在石英玻璃加热清洗槽中进行。石英玻璃加热清洗槽一般包括石英玻璃槽体和贴设在石英玻璃槽体外面的加热电阻丝（镍铬丝属圆形电阻丝），在石英玻璃槽体外设有PP塑料箱，石英玻璃槽体和PP塑料箱之间填岩棉，通过加热电阻丝起到保温作用。该种结构的石英玻璃加热清洗槽，加热电阻丝（镍铬丝）的截面为圆形，与石英玻璃槽体外表面接触不好，加热效率差，导致酸洗成本较高，且浪费电能，一旦电阻丝脱落，会造成电路短路，着火，因此安全隐患极大。

实用新型内容

     本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单，加热效率高，节能，安全性高的石英玻璃加热清洗槽。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

     一种石英玻璃加热清洗槽，包括石英玻璃槽体和阻燃外箱，所述石英玻璃槽体位于阻燃外箱内，在石英玻璃槽体和阻燃外箱底部设有排液口和出线口，在石英玻璃槽体内设有热电偶护管，其特殊之处是：在石英玻璃槽体外底面和侧面中部以下部位粘贴有加热电阻扁丝，，在加热电阻扁丝外粘贴有耐高温胶垫，在耐高温胶垫和阻燃外箱之间设置保温棉。

所述耐高温胶垫是由内层硅橡胶粘合剂和外层无碱布构成。

所述加热电阻扁丝的材质为镍铬铝。

所述保温棉为硅酸铝纤维棉，所述阻燃外箱为PPS阻燃外箱，采用硅酸铝纤维棉达到耐高温耐热效果，PPS阻燃外箱具有阻燃性能，安全性好。

在石英玻璃槽体上对应排液口处设有凹形口，便于排出酸液。

本实用新型与现有技术相比有益效果如下：石英玻璃槽体外表面粘贴加热电阻扁丝,用耐高温胶垫将其固定住，且加热电阻扁丝位于在石英玻璃槽体外底面和侧面中部以下部位，位置更合理，加热电阻扁丝不易脱落，加热电阻扁丝与石英玻璃槽体外表面接触良好，热效率高，节能。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的A部放大图。

图中： 1、石英玻璃槽体  2、热电偶护管  3、加热电阻扁丝        4、耐高温胶垫  5、出线口   6、硅酸铝纤维棉   7、阻燃外箱    8、凹形口  9、排液口，10、PPS塑料沿  401、硅橡胶粘合剂  402、无碱布。

具体实施方式

如图所示，该石英玻璃加热清洗槽，包括石英玻璃槽体1和PPS阻燃外箱7，所述石英玻璃槽体1位于阻燃外箱7内，石英玻璃槽体1上端和和阻燃外箱7上沿固接PPS塑料沿10，在石英玻璃槽体1和阻燃外箱7底部分别设有排液口9和出线口5，排液口9下部由阻燃外箱7引出，在石英玻璃槽体1上对应排液口9处设有凹形口8，在石英玻璃槽体1内设有热电偶护管2，在石英玻璃槽体1外底面和侧面中部以下部位粘贴有加热电阻扁丝3，所述加热电阻扁丝3材质为镍铬铝，在加热电阻扁丝3外粘合有耐高温胶垫4，所述耐高温胶垫4是由内层的硅像胶粘合剂401和外层的无碱布402构成，耐高温胶垫4外部缠有保温棉6，所述保温棉6采用硅酸铝纤维棉。