[实用新型]一种升降旋转驱动机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种升降旋转驱动机构。

背景技术

根据直拉法单晶硅生长的特点及工艺要求，直拉法单晶炉的真空炉室部分分为副炉室、隔离阀室、上炉室、下炉室、炉底几个部分。为了清理炉室方便及安全取出晶体，真空炉室的上炉室、隔离阀室、副炉室均需升起并旋转让开空间。

目前大多数单晶炉，实现炉室升降运动是将副炉室及隔离阀室固定在导柱上，采用油缸推动导柱，带动副炉室或者隔离阀室升降，炉室的旋转也大都采用手动，增加了操作人员的劳动强度，自动化程度低；少数单晶炉，也将油缸驱动更改为电机驱动，旋转仍然为手动，油缸驱动，安装维护均比较麻烦，长时间运行故障频发，同时油缸漏油时环境污染严重；另有少数单晶炉，旋转和升降采用一个电机驱动，需增加一种限位机构，并设两种位置模式，通过设置不同限位位置模式来实现提升和旋转运动的转换，该机构操作复杂，当升降旋转运动判定失误引起误操作时，会造成严重的安全质量事故。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种升降旋转驱动机构，能够安全可靠的实现副炉室电动升降及旋转，并采用电机驱动替代油缸，解决了油缸在使用过程中出现的污染环境及维护麻烦等一系列技术问题。

为达到以上目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种升降旋转驱动机构，包括立柱4，安装在立柱4上的第一支撑座2和第二支撑座8，导柱3顶端安装在第一支撑座2内，底端穿过第二支撑座8，并在底端连接有安装在立柱4上的旋转驱动装置9，在导柱3上安装有升降驱动装置7，升降驱动装置7与导柱3的连接部位设有升降驱动装置防转装置11，副炉室1通过连接板5安装在导柱3上，连接板5与导柱3的连接部位设有连接板防转装置10，升降驱动装置7的丝杠通过销轴6与连接板5固定。

所述升降驱动装置7采用电机通过蜗轮蜗杆减速机驱动丝杠运动。

所述连接板防转装置10为在连接板5与导柱3的连接部位设置键。

所述升降驱动装置防转装置11为在升降驱动装置7与导柱3的连接部位设置键。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型能够安全可靠的实现副炉室电动升降及旋转运动。

2、采用电机驱动替代传统油缸驱动结构，运行平稳，安装调试方便简单，故障率降低，操作现场消除了因油缸漏油引起的环境污染问题。

附图说明

附图是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例，对本实用新型作进一步的详细描述。

如附图所示，本实用新型一种升降旋转驱动机构，包括立柱4，安装在立柱4上的第一支撑座2和第二支撑座8，导柱3顶端安装在第一支撑座2内，底端穿过第二支撑座8，并在底端连接有安装在立柱4上的旋转驱动装置9，在导柱3上安装有升降驱动装置7，升降驱动装置7与导柱3的连接部位设有升降驱动装置防转装置11，防止提升时升降驱动装置7相对导柱3转动，副炉室1通过连接板5安装在导柱3上，连接板5与导柱3的连接部位设有连接板防转装置10，防止提升时连接板5相对导柱3转动，升降驱动装置7的丝杠通过销轴6与连接板5固定。

作为本实用新型的优选实施方式，所述升降驱动装置7采用电机通过蜗轮蜗杆减速机驱动丝杠运动，防止提升时连接板5相对导柱3转动。

作为本实用新型的优选实施方式，所述连接板防转装置10为在连接板5与导柱3的连接部位设置键。

作为本实用新型的优选实施方式，所述升降驱动装置防转装置11为在升降驱动装置7与导柱3的连接部位设置键，防止提升时升降驱动装置7相对导柱3转动。

本实用新型的工作原理为：升降驱动装置7工作，升降驱动装置7的丝杠上下运动通过销轴6带动连接板5升降运动，最终连接板5带动副炉室1升降运动；旋转驱动装置9工作，带动导柱3顺时针或者逆时针转动，通过连接板防转装置10和升降驱动装置防转装置11防止升降驱动装置7和连接板5相对导柱3相对转动，导柱3带动升降驱动装置7和连接板5顺时针或者逆时针转动，最终带动副炉室1顺时针或者逆时针转动。