[实用新型]连续碳纤维增强的坩埚预制体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚技术领域，尤其是一种连续碳纤维增强的坩埚预制体。 

背景技术

单晶硅拉制及多晶硅冶炼过程中采用石英坩埚盛放反应原料，高温下纯石英制作的坩埚会软化变形，因此必须使用支撑部件来保持石英坩埚的形状。各向同性的石墨材料具有较高的耐热性和较高的热冲击性，尤其是化学稳定性好，难与生成的诸如SiO等反应性气体反应，且与石英坩埚材料中SiO₂的反应速率较低，一直是石英坩埚的首选材料。近年来，随着硅晶片的大直径化，需求的石墨坩埚尺寸变大、重量变得极重，导致高纯石墨坩埚生产成本高、难以安装，且提出的分瓣式组合石墨坩埚易变形，支托作用逐步下降，难以满足使用需要。 

碳/碳复合材料坩埚作为一种可设计性强、性能优良的碳素护锅，是目前制造大尺寸石墨坩埚的重要技术方向，而碳纤维预制体是碳/碳复合材料坩埚的骨架材料。通过传统纤维缠绕法和碳布铺层法成型碳纤维预制体而获得的碳/碳复合材料坩埚存在层间没有连接纤维容易分层、圆周方向抗膨胀力低（硅凝固时具有8%-9.6%的体积膨胀），容易开裂、埚底与埚帮连接的坩埚薄弱部位强度低易破裂等不足，无法满足大尺寸坩埚的使用要求，为此有人提出了碳布/网胎针刺成型技术。 

中国专利CN102093069A 、ZL200610043186.4以及CN101319353A等所述碳布/网胎针刺成型准三维预制体采用针刺技术成型，层间结合强度高，不易分层。但该方法中碳布呈锯齿状开剪造成预制体整体结构中贯连的连续纤维含量少，埚底部位多瓣式包覆，纤维连续性差，长期承载大量重物时容易开裂，另外虽采取局部补强措施，但埚帮与埚底贯连的连续纤维仍不足，埚帮与埚底连接处作为坩埚的承载应力集中点极易脱落，影响坩埚的使用寿命。 

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的不足，提出一种连续碳纤维增强的坩埚预制体，该预制体力学性能优良、结构稳定，经碳/碳复合后坩埚在高负荷作用下抗膨胀性好、结构稳定性好、热导效率高、使用寿命长。 

为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一种连续碳纤维增强的坩埚预制体，其特征在于：该坩埚预制体由基础单元铺层、连续碳纤维增强层经针刺成型的准三维立体织物，所述基础单元铺层由碳纤维布/网胎复合料或碳纤维布和网胎组合层构成。 

进一步地，所述碳纤维布/网胎复合料是由碳纤维布与网胎经针刺固定成型。 

进一步地，所述连续碳纤维为多步多次旋转，纤维规格为≥1K。 

进一步地，所述基础单元铺层为多步多次旋转错开拼接缝。 

进一步地，该坩埚预制体的体积密度为0.30 g/cm³～0.55g/cm³。 

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是能够确保高负荷强度，这是因为所述预制体通过沿弧面增加了整体结构中连续纤维的含量，整体结构稳定性好。上述连续纤维在坩埚底部形成交连，在载重负荷下很好地起到支托作用，弥补了结构单元多瓣式包覆带来的纤维连续性差、底部强度薄弱的不足，避免了坩埚底部的开裂。同时，埚帮埚底连接区采用连续纤维沿弧面补强，确保了薄弱部位的足够强度，其形成的斜向交叉网格结构在受高负荷及膨胀应力作用时容易变形，从而吸收被施加的应力，避免埚帮埚底连接区的脱落。此外，连续纤维有效贯连了埚帮、埚底及其连接区，保证了在高强度及膨胀应力作用下坩埚的形状稳定性。因此，本实用新型制备的坩埚能够确保高强度，保持优异的形状稳定性，满足大尺寸晶硅炉坩埚的使用要求。 

此外，根据上述构成，通过改变基础单元的构成，可以改变预制体的体积密度和各部位强度；通过改变线面角、平行弦间距、交叉弦圆心角以及增强轨迹等，可以改变各部位径向的力学性能，或者可以根据功能用途改变各部位的力学性能。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。 

图2为整体结构层铺层用基础单元裁剪后结构示意图。 

图3为局部加强层铺层用基础单元裁剪后结构示意图。 

图4为纤维增强方式一增强方式部分示意图。 

图5为纤维增强方式一连续纤维增强结构俯视结构示意图。 

图6为纤维增强方式二增强方式部分示意图。 

图7为纤维增强方式二连续纤维增强结构俯视结构示意图。 

附图标记说明：