[实用新型]一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉

权利要求书

1.一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉，其特征在于设备内部腔室与外部隔离；有滚轴的输送结构，安装在滚轴上的滚轮将晶硅光伏电池从炉体一端输送到另一端；设备炉体中间光伏电池通过的空间为工艺腔室，在工艺腔室两侧为排气腔室；设备炉体上盖连接上盖板升降装置；加热氮气从上入口、下入口进入设备，通过上匀流板、下匀流板均匀进入炉体内部，之后进入两侧的排气腔室，经左排气管道、右排气管道排出；下匀流板、上匀流板表面密集开孔；滚轴传动机构采用蜗轮蜗杆机构，机械传动装置使用伺服电机作为动力源，伺服电机连接蜗轮蜗杆机构，蜗轮蜗杆机构连接滚轴；温控仪表连接红外加热灯管；触摸控制器与温控仪表、红外加热灯管、机械传动装置连接。

2.根据权利要求1所述的一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉，其特征在于下匀流板、上匀流板表面分布有排气匀流孔、进气匀流孔和零部件安装用孔。

3.根据权利要求1所述的一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉，其特征在于上盖板升降装置的开合机构采用梯形升降螺杆。

4.根据权利要求1所述的一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉，其特征在于在工艺腔室及排气腔室外部设置硅酸铝陶瓷纤维保温层。