[实用新型]准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构

说明书

技术领域

本实用新型属于准单晶铸锭炉技术领域，特别涉及铸锭炉中坩埚平台的升降机构。

背景技术

准单晶是在多晶硅铸锭炉上采用铸造结晶的方式，经过一系列先进的工艺流程所生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在准单晶炉内石英坩埚的底部放置籽晶，并在真空状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。目前国内的多晶硅铸锭炉主要是GT的结构，是坩埚、平台不动，上发热体、侧发热体及上保温体上下移动。这种结构对多晶硅铸锭炉可以满足工艺要求，但在生产准单晶硅的铸锭炉中就不能满足工艺要求。为了满足准单晶硅铸锭的要求，铸锭炉必须有严格的温度梯度及凝固速度控制，适合的界面形状，因此需要一个与之对应的精准熔化控制机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的坩埚平台的升降机构，以满足准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。

为实现上述目的，本实用新型采用以下方案：

一种准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构，包括坩埚平台、石墨立柱、钢立柱、托板、升降装置、传动装置、电机。 

所述坩埚平台底面设有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保温体外后与钢立柱连接，采用石墨立柱是因为保温体内部的高温环境；钢立柱向下伸出炉体后与水平设置的托板固定连接，炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动装置及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。

工作时，所述电机带动传动软轴，传动软轴通过高精度滚珠丝杠升降装置把其变成直线运动带动托板上下运动，托板通过钢立柱及石墨立柱带动坩埚平台实现升降运动。

本实用新型结构合理，使坩埚平台在铸锭炉内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。

附图说明

图1为本实用新型的准单晶铸锭炉及其坩埚平台升降机构结构示意图。

图2为图1的仰视图。

图中：1为炉体、2为上保温体、3为坩埚平台、4为石墨立柱、5为下保温体、6为钢立柱、7为升降装置、8为电机、9为托板、10为传动软轴。

具体实施方式

以下结合实施例及其附图对本实用新型做进一步详细的说明：

见图1、图2，一种准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构，包括坩埚平台3、石墨立柱4、钢立柱6、托板9、升降装置7、传动软轴10、电机8。 

如图1、图2所示，所述上保温体2、下保温体5内部的坩埚平台3底面设有三根石墨立柱4，石墨立柱4向下伸出下保温体5外与钢立柱6连接，钢立柱6向下伸出炉体1后与水平设置的托板9固定连接，炉体1下固定设有三个升降装置7，升降装置7的丝杠与托板9配合连接，托板9上设有传动软轴10及电机8，升降装置7与传动软轴10连接，传动软轴10与电机8相连。

所述电机8带动两根传动软轴10，传动软轴10通过滚珠丝杠带动三个升降装置7旋转，升降装置7的丝杠旋转转换为托板9的上下运动，托板9通过三根钢立柱6及石墨立柱4带动坩埚平台3实现升降运动。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本实用新型的保护范围。