[实用新型]真空吸附式涂布机

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种通过电磁阀单元对真空吸孔进行控制，以实现有选择的对彩膜玻璃基板进行吸附固定的真空吸附式涂布机。 

背景技术

目前，高世代彩膜面板厂的主要生产工艺：前清洗、涂布、曝光、显影和后烘等工艺形成固定的图案。参见图1所示，现有的涂布机包括涂布机台101和设置在在该涂布机台上的真空吸孔102，所述真空吸孔通过真空管路103与真空泵(图中未显示)连接；对于现有涂布机的涂布方式为狭缝式涂布，涂布作业前利用真空吸附的方式将玻璃基板固定在涂布机台上。涂布机台上的所有真空吸孔的开关通过一个总开关阀来同时控制，也就是说，开关阀只能同时控制所有真空吸孔有无真空，不能只控制部分真空吸孔的开关。涂布机设备制造完成后，涂布机台上真空吸孔的位置就已经固定，不能再变动了。 

随着人们的生活档次越来越高，需求的产品种类及产品的尺寸都在增多，一条高世代彩膜面板厂需要生产多种型号，多种尺寸的产品。如G6面板厂，玻璃基板的尺寸为1850mm*1500mm，一块玻璃基板可切割成多种尺寸的产品（10.1”产品、32”产品、42”产品、46”产品、65”产品等）。由于涂布机台上真空吸孔的位置就已经固定，而生产的产品种类越多，涂布机的真空吸孔在生产产品的图像区接触的几率就越大，部分真空吸孔与图像区接触就不可避免了。 

涂布机台上的真空吸孔用于吸附固定玻璃基板，吸附过程中会造成玻璃基板在真空吸孔对应区域出现凹陷式形变，该种形变易于导致涂布的湿态光刻胶由于玻璃基板的形变而发生膜厚不均的问题，并由 此产生坏点。彩膜玻璃基板工艺产生的坏点严重影响产品品质，尽可能减少涂布机台上的真空吸附造成的坏点势在必行。 

因此，需要提供一种新型的真空吸附式涂布机以解决上述问题。 

发明内容

本实用新型所解决的技术问题是提供一种真空吸附式涂布机；该真空吸附式涂布机通过电磁阀单元对真空吸孔进行控制，以实现有选择的对彩膜玻璃基板进行吸附固定的目的。 

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：一种真空吸附式涂布机，包括机台、多个均匀布设在该机台上的真空吸孔和总控电路；所述各真空吸孔均通过真空管路与抽真空装置连接，在所述真空管路上设有多个电磁阀单元，所述电磁阀单元与所述总控电路连接，且与各所述真空吸孔一一对应。 

进一步地，所述真空管路包括总管和连接在该总管上的多个支路管，所述各支路管分别对应连接一个真空吸孔，所述总管上对应连接有抽真空装置；所述电磁阀单元与所述支路管对应设置。 

进一步地，所述各支路管上均设有用于控制支路管管径大小以调整其真空压力的支路管电控蝶阀；所述支路管电控蝶阀与所述总控电路连接。 

进一步地，所述总管上设有用于控制总管管径大小以调整其真空压力的总管电控蝶阀；所述总管电控蝶阀与所述总控电路连接。 

进一步地，还包括设置在所述机台上的用于实时监测机台压力的压力传感器，所述压力传感器与所述总控电路连接。 

本实用新型与现有技术相比具有以下的优点： 

1、本实用新型采用在真空管路上设置电磁阀单元的设计，可实现在保证对彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有选择的对其进行吸附固定，也就是通过控制电磁阀单元的开启和关闭，从而控制位于彩膜玻璃基板图像显示区域内的真空吸孔关闭，以避免真空吸孔因其吸附力 而对彩膜玻璃基板的图像显示区域造成凹陷式形变，从而确保了光刻胶均匀涂布，使光刻胶的膜厚均匀，从而避免了彩膜面板坏点的出现，提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的质量。 

2、本实用新型采用总管电控蝶阀和支路管电控蝶阀的设计，通过其开启的幅度，对支路管和总管的管径进行调整，从而实现对各真空吸孔的吸附力进行调整的目的；进一步避免了因吸附力过大而对彩膜玻璃基板所产生的形变，提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的整体质量，提高了彩膜玻璃基板的产品良率。 

3、本实用新型采用压力传感器的设计，通过该压力传感器实时回传的彩膜玻璃基板与机台间的压力值，总控电路可实时监控并随时依据压力值调整真空吸管的吸附力，从而为彩膜玻璃基板的光刻胶涂布提供了有力的保障；提高了工艺质量。