[实用新型]一种晶棒加热炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体加热炉，具体地说是涉及一种晶棒加热炉。

背景技术

晶棒加热炉它是有多层耐火砖垒制而成的，每层耐火砖之间设有电炉丝，加热炉中间设有放置晶棒的加热孔，使用时，将晶棒放置在加热孔中，由于加热炉是耐火砖垒制而成，存在加热孔侧壁粗糙，在加热过程中晶棒容易损坏，加热不均匀，晶棒寿命短的缺点。    

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种具有晶棒加热均匀，使用方便，性能高的一种晶棒加热炉。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种晶棒加热炉，包括炉体，其特征在于：所述的炉体内设有多层刚玉砖，每层刚玉砖之间设有电炉丝，所述的炉体中间设有用于放置晶棒的加热孔，所述的加热孔四周设有高温导热陶瓷套，所述的晶棒放置在陶瓷套内，所述的炉体上下设有隔热板，所述的隔热板中间设有与加热孔配合的圆孔，所述隔热板安装在炉体上下端部的刚玉砖上。

本实用新型的有益效果是：这样结构的一种晶棒加热炉具有晶棒加热均匀，使用方便，性能高的优点。

附图说明

图1是本实用新型的剖面结构示意图。

其中：   1、炉体   2、刚玉砖  3、电炉丝4、加热孔5、陶瓷套6、隔热板7、圆孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如图1所示，一种晶棒加热炉，包括炉体1，其特征在于：所述的炉体1内设有多层刚玉砖2，每层刚玉砖2之间设有电炉丝3，所述的炉体1中间设有用于放置晶棒的加热孔4，所述的加热孔4四周设有高温导热陶瓷套5，所述的晶棒放置在陶瓷套5内，所述的炉体1上下设有隔热板6，所述的隔热板6中间设有与加热孔配合的圆孔7，所述隔热板6安装在炉体1上下端部的刚玉砖2上。

这样结构的一种晶棒加热炉具有晶棒加热均匀，使用方便，性能高的优点。