[实用新型]一种数字式波长编码光学绝对位移传感器

权利要求书

1.一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，其特征在于，包括：宽带光源（1）或为含多个波段λ1，λ2，λ3，λ4，…的光源组合，光源导入光纤（2），准直系统（3），光阑（4），光栅尺（5），接收光纤(6)，准直透镜（7），衍射光栅（8），准直透镜（9）和光敏元件阵列（10）；宽带光源（1）或为含多个波段λ1，λ2，λ3，λ4，…的光源组合的入射光经光源导入光纤（2）传送到准直系统（3）中，准直后光束经过光阑（4）滤光后入射到光栅尺（5）上，衍射光束经准直系统（3）被接收光纤（6）接收，经接收光纤（6）传送到解调系统中，接收光纤出射光经解调系统中准直透镜(7)后的光束经衍射光栅（8）色散后，再次经准直透镜（9）聚焦于光敏元件阵列（10）；光敏元件阵列（10）得到的数字电信号通过编码库识别光栅尺（5）上入射光照射部分光栅图形的信息，而该光栅图形组合是与位移关系是一一对应的，从而通过编码的解码能够完成位移测试。

2.根据权利要求1所述的一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，其特征在于，所述的光栅尺（5）分为多个单元，每个单元的长度按照光栅尺为50～300μm。

3.根据权利要求1所述的一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，其特征在于，所述的光栅尺（5）作为直线位移传感器的光栅编码尺，可以为平面直线型；也可以为柱面编码光栅尺，作为角度传感器的光栅编码尺进行角位移传感。

4.根据权利要求1所述的一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，其特征在于，所述的光栅尺（5）宽度为8mm，分4个区，沿光栅尺移动方向光栅单元长度为200μm，沿光栅线条方向宽度为2mm，4个区的光栅单元进行错位，错位量为50μm。

5.根据权利要求1所述的一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，其特征在于，所述的光栅尺（5）宽度为6mm，分三个区，沿光栅尺移动方向光栅单元长度为300μm，沿光栅线条方向宽度为2mm，三个区的光栅单元进行错位，错位量为100μm。

6.根据权利要求1所述的一种数字式波长编码光学绝对位移传感器，其特征在于，所述的光栅尺（5）宽度为6mm，分4个区，沿光栅尺移动方向光栅单元长度为100μm，沿光栅线条方向宽度为1.5mm，4个区的光栅单元进行错位，错位量为25μm。