[实用新型]高纯气体汇流充装排有效
| 申请号： | 201320424476.9 | 申请日： | 2013-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN203431481U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 缪贯通;缪嘉通;宋兆德;吴琼 | 申请（专利权）人： | 爱康尼克晶体硅（芜湖）有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C7/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨欣陆 |
| 地址： | 241206 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 气体 汇流 充装排 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯气体汇流充装排，其特征在于：包括环流管路（3）、氮气阀门（1）、排气阀门（2）、接口阀门（4）、废液罐（9）、废液阀门（6）；所述氮气阀门（1）一端连接高纯氮气，另一端连通所述环流管路（3）；所述排气阀门（2）一端连接所述废液罐（9），另一端连通所述环流管路（3）；所述接口阀门（4）用于连接高纯气源或钢瓶；所述废液阀门（6）串联在所述废液罐（9）和所述排气阀门（2）之间。
2.根据权利要求1所述的高纯气体汇流充装排，其特征在于：还包括真空泵（5）、吸收池（8），所述真空泵（5）一端连接所述排气阀门（2），另一端连接所述吸收池（8），且所述真空泵（5）与所述废液阀门（6）并联。
3.根据权利要求2所述的高纯气体汇流充装排，其特征在于：还包括废气阀门（7），所述废气阀门（7）与所述真空泵（5）、所述废液阀门（6）并联，且所述废液阀门（6）一端连接所述排气阀门（2），另一端连接所述吸收池（8）。
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