[实用新型]插入式风道阀门及废气处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种插入式风道阀门及废气处理系统。

背景技术

在半导体行业，进行酸性废气处理系统的洗涤塔维护（PM）时，发现一问题：洗涤塔前后阀门不能手动和自动关闭，而必须依靠人员穿着防护衣穿过检修口钻进运行中的风道内，清除阀片上的结晶后才能关闭阀门，然后方可进行PM工作。如此操作对排气压力波动存在较大风险，并且加大了人员操作安全风险。

而产生上述的风险的根本原因，是现有的风道阀门的设计阀片是在风道内，一方面，在风道正常运行（传输气体）时增加了阻力，因此，增加了能源消耗；另一方面，风道内的酸性气体结晶物被阀片阻挡容易堆结于阀片上，造成阀门因腐蚀堵死而不能正常操作（如关闭操作）。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种插入式风道阀门及废气处理系统，在风道正常运行时，阀片不在风道内，如此不但不会阻碍风道通畅性，而且结晶物不会堆结于阀片上腐蚀和堵塞阀门，而需洗涤塔进行维护时，洗涤塔前后阀门的阀片从外面慢慢插入风道内而达到关闭阀门的目的，以实现洗涤塔正常的维护工作。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种插入式风道阀门，包括阀片、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构以及分别用于连接对接管道的动阀体和静阀体，所述动阀体通过所述导轮弹簧机构压合于所述静阀体上并能相对所述静阀体移动，所述阀片拉放滚筒机构带动所述阀片伸入所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构带动所述阀片从所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道伸出。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述动阀体包括用于连接管道的第一法兰、第二法兰、第一连接管和软接头，所述第一法兰依次经所述软接头和所述第一连接管与所述第二法兰连接，所述第二法兰与所述静阀体相对。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述导轮弹簧机构包括滚轮导杆、导滚轮、导轮座、弹簧底座块以及弹簧，所述滚轮导杆的两端分别与所述第一法兰和所述静阀体固定连接，所述弹簧底座块固定设置于所述第一法兰上，所述导轮座与所述第二法兰固定连接，所述弹簧连接弹簧底座块和导轮座，所述导滚轮设置于所述导轮座上，所述导轮座经由所述导滚轮能够相对所述导轮座滑动。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述阀片拉放滚筒机构包括拉放轮轴、拉放轮轴驱动器、钢丝绳拉放滚筒以及钢丝绳，所述拉放轮轴与所述钢丝绳拉放滚筒同轴固定连接，所述钢丝绳的一端缠绕于所述钢丝绳拉放滚筒，另一端与所述阀片固定连接，所述轮轴驱动器带动所述拉放轮轴转动。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述拉放轮轴驱动器包括拉放葫芦和链条，所述拉放葫芦固定于所述拉放轮轴上，所述链条的一端与所述拉放葫芦连接。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述拉放轮轴驱动器包括第一电动机，第一电动机和所述拉放轮轴连接，所述第一电动机驱动所述拉放轮轴转动。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述阀片收纳滚筒机构包括收纳轮轴、阀片收纳滚筒和驱动机构，所述收纳轮轴与所述阀片收纳滚筒同轴固定连接，所述驱动机构带动阀片收纳滚筒转动，所述驱动机构是旋转手轮和/或第二电动机，所述阀片由若干片件通过销轴连接，所述阀片的一端缠绕于所述阀片收纳滚筒上，所述阀片的另一端与所述钢丝绳连接。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述阀片上与所述阀片拉放滚筒机构相连的一端的头部制成尖头，所述动阀体和所述静阀体之间供所述阀片进入的间隙通道的入口处设置成喇叭口。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述动阀体和所述静阀体沿水平方向或者竖直方向设置。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，还包括磁性密封条，所述磁性密封条设置于动阀体和静阀体的相对表面上。

本实用新型还公开了一种废气处理系统，包括两端设有管路的洗涤塔和两个阀门，所述两个阀门分别设置于所述洗涤塔两端的所述管路上，所述阀门采用如上所述的插入式风道阀门。