[实用新型]多晶硅尾气回收系统中氯化氢吸收装置

权利要求书

1.一种多晶硅尾气回收系统中氯化氢吸收装置，其特征是尾气进气管及排污管分别通过尾气进气阀门和排污阀与第一喷淋塔相连，盐酸溶液出水管通过盐酸溶液出水阀分别与第一喷淋塔和第二喷淋塔相连；第一喷淋塔与第二喷淋塔通过尾气出气阀及尾气进气阀相连实现尾气的串联传送；第二喷淋塔与第三喷淋塔通过尾气出气阀及尾气进气阀相连实现尾气的串联传送；第三喷淋塔通过盐酸溶液出水阀分别与第一喷淋塔及第二喷淋塔的盐酸溶液进水阀相连实现盐酸溶液的并联传送；进水管和尾气出气管分别与第三喷淋塔的进水阀及尾气出气管连接。

2.如权利要求1所述的装置，其特征是包括第一喷淋塔（14）、第二喷淋塔（15）、第三喷淋塔（16），尾气进气管（17）、进水管（18）、尾气出气管（19）、盐酸溶液出水管（20）、排污管（21）以及阀门；其特征是：尾气进气管（17）及排污管（21）分别通过第一喷淋塔尾气进气阀（1）和排污阀（11）与第一喷淋塔（14）相连，盐酸溶液出水管（20）通过第一喷淋塔盐酸溶液出水阀（2）、第二喷淋塔盐酸溶液出水阀（6）分别与第一喷淋塔（14）和第二喷淋塔（15）相连；第一喷淋塔（14）与第二喷淋塔（15）通过第一喷淋塔尾气出气阀（4）及第二喷淋塔尾气进气阀（5）连接；第二喷淋塔（15）与第三喷淋塔（16）通过二塔尾气出气阀（8）及第三喷淋塔尾气进气阀（10）连接；第三喷淋塔（16）通过三塔盐酸溶液出水阀（9）分别与第一喷淋塔（14）及第二喷淋塔（15）的第一喷淋塔盐酸溶液进水阀（3）、第二喷淋塔盐酸溶液进水阀（7）相连；进水管（18）和尾气出气管（19）分别与第三喷淋塔（16）的进水阀（12）及第三喷淋塔尾气出气阀（13）连接。