[实用新型]一种基板检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板检测装置，所述检测装置集检查、测量和判定缺陷功能于一体。

背景技术

彩膜基板为液晶平面显示器（Liquid Crystal Display）彩色化的关键组件。液晶平面显示器为非主动发光之组件，其色彩之显示必需透过内部的背光模块（穿透型LCD）或外部的环境入射光（反射型或半穿透型LCD）提供光源，再搭配驱动IC与液晶控制形成灰阶显示，而后透过彩色滤光片的R、G、B彩色层提供色相，形成彩色显示画面。彩膜基板的基本结构是由玻璃基板01、黑色矩阵02、彩色树脂层03、保护层04，一般穿透式液晶显示器的彩膜基板结构如图1所示。

彩膜基板在生产过程中不可避免的会产生宏观缺陷，缺陷的形成是由于膜厚的不均一性。由于彩膜基板上PR膜（photoresist，光刻胶，即彩膜基板中的彩色树脂层）厚度不均一导致的彩色异常，轻重不一，严重等级的缺陷还会影响彩膜基板产品品质，因此一旦发现有缺陷就需要立即进行缺陷等级的判定。一般缺陷等级是根据缺陷区域的特性值与正常区域的特性值存在异常的程度来进行判定的。目前常规的缺陷等级判定方法是缺陷检查机检查出缺陷后，待产品生产完成后再拿去检测，主要是进行特性值的测量，再根据特性值的测量结果判定缺陷等级，大致的判断流程如图2所示，具体包括以下步骤：

S1、检查设备发现缺陷；

S2、测量设备测量缺陷；

S3、工程师根据测量数据对缺陷进行判定。

上述常规的缺陷等级判定方法不仅浪费大量时间而且容易发生批量不良。检查缺陷、测量缺陷时两台分开的设备，并且检查只能发现缺陷，测量只起到单纯的数据测量的作用，而判定缺陷是靠工程师根据检查结果和测量的特性值数据进行人为的判定，由于人为判定过程是根据工程师的经验进行判定，极易发生误差，对最后的缺陷等级判定也将会产生较为严重的影响，而且人为判定过程需耗费较长时间，难以提高判定缺陷等级的速率。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

针对上述缺陷，本实用新型要解决的技术问题是如何将缺陷判定的设备集成为一体，尽量减少不良产品的发生，同时对缺陷等级进行自动判定，提高判定缺陷等级的效率。

（二）技术方案

为解决上述问题，本实用新型提供了一种基板检测装置，具体包括：检查部、测量部和判定部；

所述检查部与所述测量部并列设置，其中所述检查部用于对所述基板进行检查并检出缺陷，包括图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架，所述图像采集模块获取基板的灰度值；

所述测量部用于对所述基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架，所述图像测量模块获取基板的特性值；

所述判定部分别与所述检查部和所述测量部连接，所述检查部根据灰度值确定缺陷位置，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部对所述缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根据所述缺陷位置特性值判定缺陷的等级。

进一步地，所述基板检测装置还包括：

机台，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述机台之上；

所述第一支架和/或所述第二支架均包括两根支脚和一根支撑杆，所述支撑杆的两端与所述两根支脚的上端固定连接，所述两根支脚的下端固定安装在所述机台上，所述图像采集模块设置于所述第一支架的支撑杆上，所述图像测量模块设置在所述第二支架的支撑杆上。

进一步地，所述判定部包括通信模块和判定模块，所述通信模块分别与所述检查部的图像采集模块和所述测量部的图像测量模块连接。

进一步地，所述图像采集模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器。

进一步地，所述图像采集模块包括三个电荷耦合元件图像传感器，所述图像采集模块固定设置于所述第一支架的支撑杆上；所述图像测量模块包括一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模块可移动地设置于所述第二支架的支撑杆上，所述图像测量模块可以沿所述第二支架的支撑杆移动。

进一步地，所述基板检测装置还包括：

传输单元，平行设置于所述机台上，能在所述机台上进行前后移动，用于承载和传输待检测基板。

进一步地，所述机台周边设置有标尺，所述机台上的标尺与放置在所述传输单元上的基板边缘进行比对，建立基板坐标和机台坐标的对应关系。