[实用新型]用于太赫兹系统中的多光程气室

权利要求书

1.一种用于太赫兹系统中的多光程气室，所述多光程气室包括有一储气筒，所述储气筒两端密封设有石英窗；所述储气筒上设有进气口、出气口以及相应阀门；其特征在于：所述储气筒设置在一底座上；所述储气筒上设有真空泵连接口和压力传感器连接口；进气口上设有流量计；在储气筒两端的石英窗外侧且位于所述底座上，分别设有一主反射镜和一副反射镜，所述主反射镜和副反射镜呈平行设置；所述主反射镜在朝向副反射镜的一侧表面上设有多条平行设置且横截面呈直角三角形的凸棱，所述凸棱的两侧面夹角为直角；所述副反射镜在朝向主反射镜的一侧表面上设有多条平行设置且横截面呈直角三角形的凹槽，所述凹槽的两侧面夹角为直角；所述主反射镜上的凸棱与副反射镜上的凹槽数量相同且呈对应设置。

2.如权利要求1所述的用于太赫兹系统中的多光程气室，其特征在于：所述储气筒是由耐腐蚀不锈钢材料制成。

3.如权利要求1所述的用于太赫兹系统中的多光程气室，其特征在于：所述真空泵连接口连接有真空泵。

4.如权利要求1所述的用于太赫兹系统中的多光程气室，其特征在于：所述压力传感器连接口连接有压力传感器。

5.如权利要求1所述的用于太赫兹系统中的多光程气室，其特征在于：入射太赫兹波与所述主反射镜的第一条凸棱的外侧面呈45°夹角射入；出射太赫兹波与所述主反射镜的最后一条凸棱的外侧面呈45°夹角射出。

6.如权利要求1所述的用于太赫兹系统中的多光程气室，其特征在于：所述主反射镜和副反射镜与底座之间分别设有沿储气筒轴向方向移动的平移装置。