[实用新型]一种模块化静态真空维持装置有效
| 申请号： | 201320349725.2 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN203321777U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张勇;金晓;陈代兵;王冬 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚;吴彦峰 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模块化 静态 真空 维持 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种模块化静态真空维持装置，包括有真空室筒壁，其特征是：所述真空室筒壁的外侧面上设置有加热罩；所述真空室筒壁的内侧面上设置有底座；所述底座上固定有吸气泵模块；所述吸气泵模块与真空室筒壁内侧面之间设置有导热块。
2. 根据权利要求1所述的一种模块化静态真空维持装置，其特征是：所述吸气泵模块包括有不锈钢盒体，不锈钢粘结毡和锆钒铁吸气片；所述锆钒铁吸气片设置在不锈钢盒体内；所述锆钒铁吸气片外部包裹有不锈钢粘结毡。
3. 根据权利要求1所述的一种模块化静态真空维持装置，其特征是：所述加热罩为不锈钢材质。
4. 根据权利要求1所述的一种模块化静态真空维持装置，其特征是：所述吸气泵模块通过螺栓固定在底座上。
5. 根据权利要求1所述的一种模块化静态真空维持装置，其特征是：所述真空室筒壁内侧面、导热块和吸气泵模块相互紧密贴合。
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