[实用新型]一种电驱动对称柱塞式气体微小流量标准装置

权利要求书

1.一种电驱动对称柱塞式气体微小流量标准装置，其特征在于：右支架（2）、传动端板（5）、传动支架（9）、缓冲罐（12）、被检流量计（13）、流量控制器（14）、压力变送器（16）和电机支架（25）分别固定在基板（29）上；右气缸（3）固定在右支架（2）和传动端板（5）之间，右支架（2）开有进气口（1）与右气缸（3）连通；左气缸（10）固定在传动支架（9）和缓冲罐（12）之间，缓冲罐（12）与左气缸（10）出气口连通；柱塞（6）与左气缸（10）和右气缸（3）水平同轴安装，并分别通过两道O型圈（4）动密封，左气缸（10）的两道O型圈靠近传动支架（9），右气缸（2）的两道O型圈靠近传动端板（5）；右气缸（3）出气口经双向流量指示器（30）与左气缸（10）进气口连通，其中右气缸（3）出气口靠近其O型圈右侧，左气缸（10）进气口靠近其O型圈左侧；传动端板（5）和传动支架（9）之间安装有滚珠丝杠（20），滚珠丝杠（20）位于柱塞（6）的正下方；柱塞（6）轴向中部开有凹槽，T型连接块（8）上部开有通孔，并且T型连接块（8）顶端开有与通孔连通的平面凹槽，柱塞（6）穿过T型连接块（8）上部的通孔，锁紧块（7）紧固在T型连接块（8）的平面凹槽内，底部压入柱塞（6）凹槽，实现柱塞（6）和T型连接块（8）的刚性连接；T型连接块（8）前后肩台下侧面分别安装滑块（31），滑块（31）与传动支架（9）前后两侧顶面对应的直线导轨（33）相配合；与滚珠丝杠（20）配合的丝杠螺母（19）固定在T型连接块（8）的下部；带编码器（28）的步进电机（27）经减速机（26）和膜片联轴器（24）与滚珠丝杠（20）右端连接，减速机（26）和膜片联轴器（24）分别固定在电机支架（25）的右侧和左侧；温度变送器（11）安装在缓冲罐（12）顶侧，压力变送器（16）安装在缓冲罐（12）的右侧，被检流量计（13）入口与缓冲罐（12）连通，流量控制器（14）安装在被检流量计（13）的出口处。

2.根据权利要求1所述的对称柱塞式气体微小流量标准装置，其特征在于：所述的右气缸（3）两道O型圈之间开有测泄孔，左气缸（10）两道O型圈之间开有测泄孔，差压变送器（32）通过管道与两个测泄孔相连。