[实用新型]自重式上夹具和基板夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种自重式上夹具和基板夹具。

背景技术

在立式真空镀膜设备中，特别是磁控溅射镀膜生产线设备镀制硬质基板时，通常硬质基板（如玻璃基板）的夹持、装卸比较困难繁琐，为了应对真空镀膜环境的要求，基板的夹具至少要满足以下基本要求：耐高温（工艺温度一般在150至400度）、可靠性好、上下片操作方便、夹具印小。

目前，立式真空镀膜设备在对基板进行镀膜时，会把被镀基板固定在基板托架上，固定基板采用的夹具由上夹具、下夹具组成，常用的上夹具为：弹簧片式上夹具和旋转卡式上夹具。弹簧片式上夹具由0.3mm厚度以下的弹簧钢片制成，依靠弹簧钢片的弹性把基板固定在基板托架上。弹簧片式上夹具的伸缩性良好，可吸收高温环境下造成的基板与基板托架热膨胀系数不一至产生的掉片,但是长期在高温环境下，弹簧钢片会失去弹性而失去夹持作用，出现掉片现象。旋转卡式上夹具通过旋转夹具钮，使旋转卡式上夹具插有小段钢针的一端挡在基板前，从而限制基板在固定的位置。在高温环境下，基板的热膨胀与基板托架的热膨胀不一致，基板托架会带动旋转卡式上夹具相对上移，导致旋转卡式上夹具脱离基板的范围而造成掉片。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种自重式上夹具和基板夹具，旨在实现对基板的快速装夹与拆卸，且避免在高温环境下因基板与托架的热膨胀系数不一致而导致的掉片现象，延长基板夹具的使用寿命。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种自重式上夹具，用于夹持真空镀膜设备的基板，以将所述基板固定在所述真空镀膜设备的托架上，所述自重式上夹具包括自重卡块和安装压盖，所述自重卡块一端设置有用于夹持所述基板的卡槽，所述托架上设置有供所述自重卡块上下滑动的凹槽，所述安装压盖上设置有用于限制所述自重卡块上下滑动的极限位置的限位孔，所述安装压盖固定在所述托架上，所述自重卡块位于所述安装压盖和所述托架之间。

优选地，所述自重式上夹具还包括螺钉，所述托架上设置有与所述螺钉适配的第一螺纹孔，所述第一螺纹孔设置于所述凹槽的周围；所述安装压盖上设置有与所述螺钉适配、与所述第一螺纹孔对应设置的第二螺纹孔，所述安装压盖通过所述螺钉固定在所述托架上。

优选地，所述自重卡块背离所述凹槽的一侧设置有与所述限位孔对应设置的拨移钮。

优选地，所述拨移钮呈阶梯状设置，所述限位孔的宽度大于所述拨移钮的宽度。

优选地，所述限位孔呈腰形孔设置。

优选地，所述凹槽呈矩形槽设置，所述凹槽的宽度大于所述自重卡块的宽度，所述凹槽的长度大于所述自重卡块的长度。

本实用新型还提出一种基板夹具，用于夹持真空镀膜设备的基板，以将所述基板固定在所述真空镀膜设备的托架上，所述基板夹具包括下夹具，还包括自重式上夹具，所述自重式上夹具包括自重卡块和安装压盖，所述自重卡块一端设置有用于夹持所述基板的卡槽，所述托架上设置有供所述自重卡块上下滑动的凹槽，所述安装压盖上设置有用于限制所述自重卡块上下滑动的极限位置的限位孔，所述安装压盖固定在所述托架上，所述自重卡块位于所述安装压盖和所述托架之间。

本实用新型提出的自重式上夹具，通过上拨自重卡块，将基板放置在自重卡块的卡槽内，松开自重卡块后，自重卡块将基板夹紧，完成对基板的装夹，在真空镀膜过程中，自重卡块由于其自重产生的压力始终保持夹紧基板；通过上拨自重卡块，可将完成镀膜的基板从托架上取出，完成对基板的拆卸。本实用新型的自重式上夹具能够实现对基板的快速装夹和拆卸，提高生产效率，且在真空镀膜要求的高温环境下，自重卡块始终保持恒定的夹持力夹紧基板，避免在高温环境下因基板与托架的热膨胀系数不一致而导致的掉片现象，提高工作稳定性，延长自重式夹具的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型自重式上夹具夹持基板的结构示意图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为本实用新型自重式上夹具中自重卡块的结构示意图。

本实用新型的目的、功能特点及优点的实现，将结合实施例，并参照附图作进一步说明。

具体实施方式

以下结合说明书附图及具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型提出一种自重式上夹具。

参照图1至图3，图1为本实用新型自重式上夹具夹持基板10的结构示意图；图2为图1中A处的放大图；图3为本实用新型自重式上夹具中自重卡块30的结构示意图。