[实用新型]丝线导引器和激光烧蚀系统有效
申请号: | 201320265551.1 | 申请日: | 2013-05-15 |
公开(公告)号: | CN203317580U | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | C·佐米尼;类维生 | 申请(专利权)人: | 应用材料瑞士有限责任公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B23K26/36 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 丝线 导引 激光 系统 | ||
1.一种用于丝锯装置(100)的丝线导引器(112;114;116;118;200),所述丝锯装置(100)包括用于所述丝线导引器中的凹槽的标称尺寸,所述丝线导引器包括:
圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910),包括外圆周表面(415;515;615;715);以及
多个凹槽(220;420;520;620;720;820;920),通过激光烧蚀形成在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆周表面(415;515;615;715)内,其中每个凹槽(220;420;520;620;720;820;920)通过至少一个实际尺寸(430;440;450;460;470)来定义;
其中每个所述凹槽(221)的所述实际尺寸(430;440;450;460;470)与所述标称尺寸(430;440;450;460;470)具有小于约5%的偏差。
2.如权利要求1所述的丝线导引器,其特征在于,所述实际尺寸与所述标称尺寸(430;440;450;460;470)的所述偏差小于约3%,和/或其中所述实际尺寸与所述标称尺寸的所述偏差小于约5微米。
3.如权利要求1或权利要求2中的任一项所述的丝线导引器,其特征在于,
所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)的尺寸为所述凹槽沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的横向的所述宽度(440),且其中所述宽度(440)为约150微米到约230微米,和/或
其中所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)的尺寸为所述凹槽沿所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的径向的所述深度(430),且其中所述深度(430)为约150微米到约200微米,和/或
其中所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)的尺寸为从一个凹槽的中心到邻近凹槽的中心的所述节距(450),且其中所述节距为约150微米到约200微米。
4.如权利要求1或权利要求2中的任一项所述的丝线导引器,其特征在于,所述多个凹槽包括约1200个凹槽和4000个凹槽,且其中所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)沿横向的所述宽度(290)是在约500mm到约1000mm之间。
5.如权利要求3所述的丝线导引器,其特征在于,所述多个凹槽包括约1200个凹槽和4000个凹槽,且其中所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)沿横向的所述宽度(290)是在约500mm到约1000mm之间。
6.如权利要求1或权利要求2中的任一项所述的丝线导引器,其特征在于,所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括被聚合物涂覆的圆柱状主体,且其中所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)形成在所述聚合物涂层中。
7.如权利要求3所述的丝线导引器,其特征在于,所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括被聚合物涂覆的圆柱状主体,且其中所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)形成在所述聚合物涂层中。
8.如权利要求5所述的丝线导引器,其特征在于,所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)包括被聚合物涂覆的圆柱状主体,且其中所述凹槽(220;420;520;620;720;820;920)形成在所述聚合物涂层中。
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