[实用新型]一种用于制造石英坩埚的模具

说明书

技术领域

本实用新型涉及坩埚模具技术领域，更具体地说，涉及一种用于制造石英坩埚的模具。

背景技术

坩埚是冶炼炉的重要组成部分，它是熔化和精炼金属液体的空间，是保证冶炼顺利进行的基础。而坩埚中的石英坩埚可在1650℃以下使用，是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

目前，电弧熔融石英坩埚制造用模具为石墨模具，在制造石英坩埚过程中，由于高温的作用，石墨材料容易氧化，氧化后的石墨掉落在石英内，影响到坩埚的合格率。

因此，如何提供一种提高坩埚合格率的模具，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种用于制造石英坩埚的模具，以实现提高坩埚合格率的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于制造石英坩埚的模具，包括具有型腔的不锈钢内模、套设在所述不锈钢内模外的不锈钢外套和设置在所述不锈钢外套底部的不锈钢底座，其中，所述不锈钢内模、不锈钢外套和不锈钢底座焊接成具有封闭内腔的整体，所述不锈钢内模上设置有真空孔，所述真空孔与设置在所述不锈钢底座的主真空管连通。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述真空孔均匀分布在所述不锈钢内模上。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述不锈钢内模靠近所述内腔的面上设置有连通各真空孔的U型不锈钢凹槽，且各U型不锈钢凹槽相互连通后与所述主真空管连通。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述U型不锈钢凹槽焊接在所述不锈钢内模上。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述不锈钢外套或所述不锈钢底座上设置有连通内腔与外部的进口和出口。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述内腔内部设置有与所述出口连通的回水管。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述回水管的进口端位于所述内腔的顶部。

优选地，上述用于制造石英坩埚的模具中，所述回水管焊接在所述出口。

从上述方案可以看出，本实用新型实施例提供的用于制造石英坩埚的模具，包括具有型腔的不锈钢内模、套设在所述不锈钢内模外的不锈钢外套和设置在所述不锈钢外套底部的不锈钢底座，其中，所述不锈钢内模、不锈钢外套和不锈钢底座焊接成具有封闭内腔的整体，所述不锈钢内模上设置有真空孔。由于本实用新型中提供的用于制造石英坩埚的模具其内模为不锈钢内模，不易被氧化，因此可以有效避免因为氧化后脱落在石英里，从而提高了坩埚的合格率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例中提供的一种用于制造石英坩埚的模具的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中提供的第二种用于制造石英坩埚的模具结构示意图；

图3为本实用新型实施例中提供的第三种用于制造石英坩埚的模具的结构示意图；

图4为U型不锈钢凹槽连接示意图；

图5为图1至图3中A部分的放大示意图；

图6为本实用新型实施例中提供的U型不锈钢凹槽的结构示意图；

其中：

1为不锈钢内模，2为不锈钢外套，3为不锈钢底座，4为内腔，5为主真空管，6为进口，7为出口，8为回水管，21为U型不锈钢凹槽，22为U型不锈钢凹槽，23为真空孔。

具体实施方式

以下，参照附图对实施例进行说明。此外，下面所示的实施例不对权利要求所记载的实用新型内容起任何限定作用。另外，下面实施例所表示的构成的全部内容不限于作为权利要求所记载的实用新型的解决方案所必需的。

本实用新型实施例公开了一种用于制造石英坩埚的模具，以实现提高坩埚合格率的目的。

如图1至图6所示，该用于制造石英坩埚的模具，包括具有型腔的不锈钢内模1、套设在不锈钢内模1外的不锈钢外套2和设置在不锈钢外套2底部的不锈钢底座3，其中，不锈钢内模1、不锈钢外套2和不锈钢底座3焊接成具有封闭内腔4的整体，不锈钢内模1上设置有真空孔23，真空孔23与设置在不锈钢底座3的主真空管5连通。