[实用新型]一种定向凝固设备的拉锭机构有效
申请号: | 201320233456.3 | 申请日: | 2013-05-03 |
公开(公告)号: | CN203256369U | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 顾正 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
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地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 定向 凝固 设备 机构 | ||
技术领域
本实用新型属于真空设备领域,特别涉及一种定向凝固设备的拉锭机构。
背景技术
定向凝固是指在凝固过程中采用强制手段,在凝固金属和未凝固金属熔体中建立起特定方向的温度梯度,从而使熔体沿着与热流相反的方向凝固,最终得到具有特定取向柱状晶的技术。定向凝固是研究凝固理论和金属凝固规律的重要手段,也是制备单晶材料和微米级(或纳米级)连续纤维晶高性能结构材料和功能材料的重要方法。自20世纪60年代以来,定向凝固技术发展很快。由最初的发热剂法、功率降低法发展到目前广泛应用的高速凝固法、液态金属冷却法和连续定向凝固技术。定向凝固技术广泛应用于高温合金、磁性材料、单晶生长、自生复合材料的制备等力面,并且在类单晶金属间化合物、形状记忆合金领域具有极广阔的应用前景。
定向凝固技术最突出的成就是在航空工业中的应用。现在,我们将定向凝固技术应用在多晶硅的提纯设备上,采用定向凝固技术可以将多晶硅内的金属杂质富集,切除顶端富集区可以实现金属提纯的目的。
在整个的多晶硅提纯设备工艺中,需要以下工艺要求:
(1)在设备的内部保持真空状态;
(2)水冷盘可旋转;
(3)水冷盘的升降距离大于等于1.7米;
(4)水冷盘内需要通循环水对物料和容器冷却;
(5)水冷盘中央需要通气体对坩埚进行冷却;
(6)水冷盘必须要能承重1吨以上;
(7)拉锭机构的升降速度可控制。
目前的装置只能单独实现通循环水或者单独通气来进行坩埚的冷却,并且水冷盘的升降距离在1.7米以下,载重规格较小。目前还没有装置能够完全实现以上要求。
实用新型内容
本实用新型克服上述不足问题,提供一种定向凝固设备的拉锭机构,可实现上述所有功能,而且结构稳定,操作方便。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是:一种定向凝固设备的拉锭机构,炉体固定安装于机体架之上,炉门安装于炉体之上,其特征是:炉体上固定安装有丝杠和真空泵;升降台通过丝母活动安装于丝杠下端;慢速电机和快速电机固定安装于升降台外壁之上,并通过电磁离合器和传动机构与丝母连接;旋转接头固定安装于升降台内部,水冷轴下端活动安装于旋转接头内部,其上端置于炉体内部,水冷盘安装于水冷轴顶部;旋转电机固定安装于升降台外壁,且通过旋转齿轮与水冷轴相互啮合连接。
所述的升降台采用升降台上盖固定安装于升降台底座之上
所述的水冷轴与炉体之间安装有轴密封。
所述的旋转接头内部安装有通水通气的旋转装置。
所述的旋转接头上端与升降台上盖固定连接,下端与升降台底座固定连接。
所述的丝杠有2-4个。
所述的传动机构包括5-7对互相啮合的齿轮。
所述的丝杠的升降速度20-60mm/min。
所述的旋转电机与水冷轴之间的传动比为5-10:1。
本实用新型装置构思独特,在原有设备的基础上,加以创新改进,既可以使水冷轴上下移动,也可以水冷轴旋转。在旋转的过程中,可以保持设备的真空度在1-5Pa的范围内。快速电机可以使升降机构以60mm/min的速度上升下降,慢速电机可以使升降机构以0.1mm/min的速度上升下降。操作简单,易于控制和计算。
附图说明
图1为一种定向凝固设备的拉锭机构的结构示意图。
图中,1. 炉体,2. 水冷盘,3. 轴密封,4.真空泵,5.旋转齿轮,6.旋转电机,7. 升降台上盖,8. 旋转接头,9.水冷轴,10. 升降台,11. 升降台底座,12. 快速电机,13. 传动机构,14.电磁离合器,15.慢速电机,16.丝母,17.丝杆,18.真空阀,19.炉门。
具体实施方式
下面结合具体实施例及附图详细说明本实用新型,但本实用新型并不局限于具体实施例。
如图1所示的一种定向凝固设备的拉锭机构,炉体1固定安装于机体架之上,炉门安装于炉体1之上。
炉体1上固定安装有丝杠17和真空泵4;升降台10通过丝母16活动安装于丝杠17下端;慢速电机15和快速电机9固定安装于升降台10外壁之上,并通过电磁离合器14和传动机构13与丝母16连接;旋转接头8固定安装于升降台10内部,水冷轴9下端活动安装于旋转接头8内部,其上端置于炉体1内部,水冷盘2安装于水冷轴9顶部;旋转电机6固定安装于升降台10外壁,且通过旋转齿轮5与水冷轴9相互啮合连接。
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