[实用新型]一种碘酒钝化分装包装袋

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种包装袋,特别是涉及一种密封性和稳定性比较好的碘酒钝化分装包装袋。

背景技术

为了准确方便地获得硅片最大的测试表观少子寿命使得其尽量接近体少子寿命，碘酒钝化是一种很好的表面钝化方式。但是碘酒钝化不稳定而且碘酒容易挥发而污染测试探针。所以需要样品袋包装好硅片。

一直以来碘酒钝化因为其找不到好的分装包装袋，而使得袋内的碘酒容易渗出而污染测试台以及测试探针，而且稳定性也不是很好，这给碘酒钝化带来很大的不便，导致大家很少用碘酒钝化来测试其少子寿命。

这种碘酒易渗出而污染测试台探针，且碘酒钝化不是很稳定的问题，目前尚没有特别好的解决办法。

发明内容

为了解决现有的碘酒钝化分装包装袋易渗出，且污染测试台以及测试探针且不稳定等技术问题，本实用新型的目的在于提供一种密封性和稳定性都比较好的碘酒钝化分装包装袋。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种酒钝化分装包装袋，包括真空袋袋身，所述真空袋袋身具有三条封边及一边开口的袋口，所述真空袋袋身具有两条密封线。

本实用新型的碘酒钝化分装包装袋，所述两条密封线包括第一密封线和第二密封线，所述第一密封线为设置在真空袋袋口1-2cm处的完全密封线，所述第二密封线为离硅片边1-2cm处的不完全密封线。

本实用新型的碘酒钝化分装包装袋，所述第一密封线与所述第二密封线分隔的区域间设有多余碘酒溶液存放区域。

本实用新型的碘酒钝化分装包装袋，所述第二密封线不完全封住，留一个小口，以便存放硅片与部分碘酒的区域与多余碘酒存放区域连通。

借由上述技术方案，本实用新型具有的优点和有益效果是：

本实用新型设计合理，操作简单，相比其他钝化手段比如热氧化钝化以及用PECVD镀氮化硅膜钝化成本低很多，而且密封性好，几乎不漏，稳定性好，保证了测试的准确性，有足够的时间来保证测试。

附图说明

图1为本实用新型所用真空袋（三条封边、一条开口边）的主视图。

图2为本实用新型的碘酒钝化分装包装袋的主视图。

10：真空袋1：真空袋封边（三条封边）

2：钝化的硅片3：开口边（袋口）

4：第一密封线5：第二密封线

6：存放硅片与部分碘酒的区域7：多余碘酒存放区域

具体实施方式

下面结合附图及较佳实施例对本实用新型做进一步详细描述。

请参阅图1和2所示，本实用新型的碘酒钝化分装包装袋，其用的是本身密封性会相对好些的真空袋，该真空袋（袋身）10具有三条真空袋封边1及一条开口边（袋口）3。

该真空袋（袋身）10包括两条密封线，第一密封线4是一条完全密封线，其设置在离袋口1-2cm处，这条完全封线主要是用来保证密封效果的；另外一条第二密封线5是离硅片1-2cm处的不完全封线，这条密封线在封住真空袋10时不完全封住，留一个小口，方便存放硅片与部分碘酒的区域6与多余碘酒存放区域7连通，以便碘酒溶液得以流通，保证碘酒钝化效果的稳定性，所以，第二密封线5除了保证密封性外，还保证了碘酒钝化的稳定性。

在该真空袋10的第一密封线4与第二密封线5之间设有多余碘酒溶液存放区域7。下面是本实用新型实施例的具体操作步骤：

1、首先将要钝化的硅片2放入如图1所示的真空袋10中（真空袋10需要比需要钝化的硅片2大，本实施例中，156mm*156mm的硅片需要用200mm*300mm的真空袋）；

2、然后用滴管往真空袋10中的硅片表面滴加碘酒溶液，两面都滴一些，注意小心不要滴到真空袋10的开口处，滴的碘酒溶液要适当多些；

3、用手稍微抹平，注意不要将碘酒溶液抹出真空袋10，在离袋口1-2cm处用300型手压式封口机封一条完全密封线（第一密封线4），第一密封线4保证钝化的密封性；

4、将硅片处的碘酒抹平，尽量将一些多余的碘酒抹到图2所示多余碘酒溶液存放区域7，再在距离硅片1-2cm处用热封机封一条不完全密封线（第二密封线5），这条线不要全部密封，留一小部分不封起来，这样多余的碘酒就存放两条封线间区域即区域7，存放的碘酒可以与钝化硅片存放的区域6处相通，保证钝化的稳定，这样就得到图2所示的碘酒钝化分装包装袋；