[实用新型]一种区熔炉的水冷系统及区熔炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及区熔单晶技术领域，特别涉及一种区熔炉的水冷系统及区熔炉。

背景技术

区熔单晶在被应用到微波通讯、雷达、导航、测控、医学、高功率电站等领域之前，都需要经过掺杂，调整晶体内部的电阻率。目前使用的掺杂技术主要为中子嬗变掺杂和气象掺杂。中子嬗变掺杂的准确率高，但是掺杂是一个核反应过程，还需要消除放射性处理及热处理，增加工序的同时提高了单晶的成本。另外的一种掺杂方法是气相掺杂，直接在晶体生长的过程中将掺杂剂通过保护气体掺杂到晶体内部。

区熔炉的上传动中，存在两根水管：进水管和出水管，两根水管分别与进水汇和回水汇连通，并且另一端分别与滑座上的进水口和出水口连通，滑座上的进水口与上传动中的主轴的进水口连通，主轴的出水口与滑座上的出水口连通，实现水在主轴中的循环，进而实现对上传动中的主轴的冷却。在设备运行过程中，滑座会上下移动，因此，两根水管长度需同时满足：滑座运行至离进水汇和回水汇最远处时，水管长度要求变长；滑座运行至离进水汇和回水汇最近处时，水管长度要求又相应的减短。

现有技术下，采用了螺旋水管，目的是使用螺旋水管的伸缩特性，使得在设备运行过程中水管通水后，可以实现其随着滑座的下移而伸长，在滑座上移的过程中，水管可以随着滑座的上移而缩回，能够避免普通水管在滑座移动过程中的走向布置问题。

但是，在实际应用过程中，螺旋水管通水后，螺旋水管的弹性不能够保证其在滑座上移过程中垂直缩回，也就是说，螺旋水管在缩回过程中容易出现歪倒等现象，进而使得水管容易碰到设备的边缘，产生磨损，破环设备的稳定性。

实用新型内容

本实用新型提供了一种区熔炉的水冷系统，具有较好的伸缩性能。

另外，本实用新型还提供了一种区熔炉，工作过程中，具有较好的稳定性。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种区熔炉的水冷系统，包括：位于所述区熔炉的上传动中的主轴和滑座、进水汇、回水汇、以及水管组件，其中，所述主轴内具有冷却腔室，所述滑座上具有分别与所述冷却腔室连通的进水口和出水口，所述水管组件包括：与所述进水汇和所述回水汇相对固定的支架、安装于所述支架的两个自动伸缩水管卷轴，其中一个所述自动伸缩水管卷轴中的水管的输入端与所述进水汇连通，输出端与所述滑座上的进水口连通；另一个所述自动伸缩水管卷轴中的水管的输入端与所述回水汇连通，输出端与所述滑座上的出水口连通。

在一些可选的实施例中，所述支架包括：与所述主轴相互平行的第一支撑杆和第二支撑杆，以及一端固定于所述第一支撑杆、另一端固定于所述第二支撑杆的连接杆，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆安装于所述上传动，且相对所述上传动固定。

在一些可选的实施例中，每一个所述自动伸缩水管卷轴包括：

固定于所述连接杆的壳体；

固定于所述壳体的固定面的固定轴，所述固定轴的轴线垂直于所述固定面；

可旋转的安装于所述固定轴的卷筒；

位于所述卷筒内的卷簧、所述卷簧的内端固定于所述固定轴，外端与所述卷筒的内壁固定连接；

转动连接管，所述转动连接管包括：第一连接管、第二连接管和第三连接管，其中，所述第一连接管的一端套装于所述固定轴，另一端与所述第三连接管的一端套装，所述第二连接管的一端固定于所述第一连接管的侧壁且与所述第一连接管连通；

进水管，所述进水管的输出端与所述第三连接管的另一端连通，输入端伸出所述壳体；

卷套在所述卷筒的外表面的出水管，所述出水管的输入端与所述第二连接管的另一端连通，输出端伸出所述壳体。

本实用新型还提供了一种区熔炉，包括：上传动、位于所述上传动中的滑座、以及与所述滑座相对固定的主轴，还包括上述水冷系统。

本实用新型提供的区熔炉的水冷系统，包括：位于所述区熔炉的上传动中的主轴和滑座、进水汇、回水汇、以及水管组件，其中，所述主轴内具有冷却腔室，所述滑座上具有分别与所述冷却腔室连通的进水口和出水口，所述水管组件包括：与所述进水汇和所述回水汇相对固定的支架、安装于所述支架的两个自动伸缩水管卷轴，其中一个所述自动伸缩水管卷轴中的水管的输入端与所述进水汇连通，输出端与所述滑座上的进水口连通；另一个所述自动伸缩水管卷轴中的水管的输入端与所述回水汇连通，输出端与所述滑座上的出水口连通。