[实用新型]旋转密封装置及使用该旋转密封装置的匀胶机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种旋转密封装置及使用该旋转密封装置的匀胶机。

背景技术

匀胶机广泛应用于半导体、微电子、生物材料、光学等领域，主要用于在基片上涂制薄膜。匀胶机的工作原理是利用离心力，使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，从而形成不同厚度的薄膜。

匀胶机采用真空吸附旋转，传统的匀胶机的真空部分的密封是采用铜制作的密封环，铜制作的密封环磨损太多容易产生碎片，碎片或光刻胶进入到真空部分后清理维护工作非常麻烦。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种易于清洗的旋转密封装置及使用该旋转密封装置的匀胶机。

一种旋转密封装置，包括：

轴套，所述轴套内设有内腔，所述轴套的侧壁开设有与所述内腔相通的通孔；

可转动地设置在所述内腔内的旋转轴，所述旋转轴内设有空腔，所述空腔的一个开口开设在所述旋转轴的侧壁，所述空腔的另一个开口开设在所述旋转轴的端部；

固定在所述轴套的两端的两个轴封，所述旋转轴的两端分别穿出两个所述轴封。

在一个实施例中，所述轴封为橡胶轴封。

在一个实施例中，所述轴套的内侧设有与所述轴封对应的轴封卡口。

在一个实施例中，还包括轴承，所述旋转轴通过所述轴承与所述轴套可转动连接。

在一个实施例中，所述旋转轴设有轴承卡口，所述轴承套在所述旋转轴的外壁并固定在所述轴承卡口处。

在一个实施例中，所述轴承和所述轴封接触，所述轴承将所述轴封固定。

一种匀胶机，包括旋转密封装置，所述旋转密封装置包括：

轴套，所述轴套内设有内腔，所述轴套的侧壁开设有与所述内腔相通的通孔；

可转动地设置在所述内腔内的旋转轴，所述旋转轴内设有空腔，所述空腔的一个开口开设在所述旋转轴的侧壁，所述空腔的另一个开口开设在所述旋转轴的端部；

固定在所述轴套的两端的两个轴封，所述旋转轴的两端分别穿出两个所述轴封。

在一个实施例中，所述轴封为橡胶轴封。

在一个实施例中，所述旋转密封装置还包括轴承，所述旋转轴通过所述轴承与所述轴套可转动连接。

在一个实施例中，所述旋转轴设有轴承卡口，所述轴承套在所述旋转轴的外壁并固定在所述轴承卡口处。

上述旋转密封装置及使用该旋转密封装置的匀胶机，轴套和旋转轴的两端通过轴封密封，轴封耐磨损不易产生碎片，且光刻胶不易进入内腔，同时，轴封的安装和拆卸都比较方便，易于清洗。

附图说明

图1为一实施方式的旋转密封装置的剖面结构示意图；

图2为一实施方式的轴套的剖面结构示意图；

图3为一实施方式的旋转轴的剖面结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型的电热丝切带机进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，一实施方式的旋转密封装置10，包括：

轴套110，轴套110内设有内腔120，轴套110的侧壁开设有与内腔120相通的通孔130。

可转动地设置在内腔120内的旋转轴140，旋转轴140内设有空腔150，空腔150的一个开口开设在旋转轴140的侧壁，空腔150的另一个开口开设在旋转轴140的端部。

固定在轴套110的两端的两个轴封160，旋转轴140的两端分别穿出两个轴封160。

旋转密封装置10还可以包括轴承170。旋转轴140通过轴承170与轴套110可转动连接。轴承170和轴封160接触，轴承170将轴封160固定，使轴封160的密封效果更好。

旋转轴140开设有空腔150的一端与吸盘（图未示）固定连接，旋转轴140的另一端与驱动装置180的轴通过联轴器190连接。驱动装置180驱动旋转轴140在轴套110中旋转。