[实用新型]一种下轴旋转密封装置及区熔炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及区熔单晶的制备技术领域，特别涉及一种下轴旋转密封装置及区熔炉。

背景技术

目前，区熔单晶的制备一般是在区熔炉中完成的，其原理为：将多晶棒竖直固定在上炉室的主轴上，下炉室内轴上的籽晶对准多晶棒的下端，高频电流通过线圈与多晶棒耦合产生涡流，使多晶棒下端熔化，熔接籽晶，控制主轴向下移动，使多晶棒相对于熔区移动，从而生长成一根单晶体。

区熔单晶炉主轴的密封装置结构通常采用内外两个套，内套为旋转密封套，套装在主轴上，外套套装在旋转密封套上，且外套固定于区熔炉主体上，旋转密封套上端外圆采用径向密封，外套上端外圆采用径向密封，且旋转密封套内部中间位置装有唇形密封圈（如：轴向截面为Y形、V形、U形、L形等唇形密封圈）用于密封主轴，旋转密封套与外套的连接处设置有轴承，该轴承位于外套的底部。在实际生产过程中，旋转密封套与主轴同步转动，且主轴相对旋转密封套向下移动，当生成单晶体后，主轴相对旋转密封套向上运动。

本申请人发现，现有的下轴旋转密封装置在主轴运动时的主轴在竖直方向的运动受到其他部件的干涉，影响主轴运动的稳定性，从而导致单晶体的成品率比较低。

实用新型内容

本实用新型提供了一种下轴旋转密封装置及区熔炉，用以提高主轴运动的稳定性，从而提高单晶体的成品率。

本实用新型包括：

一种下轴旋转密封装置，包括：

套装在主轴上、与所述主轴同步转动的旋转密封套；

套装在所述旋转密封套外壁上的支撑套；

设置在所述旋转密封套内壁上并与所述主轴密封接触的星形密封圈；以及，

设置在所述支撑套顶部与旋转密封套之间的至少一个角接触轴承。

优选的，所述星形密封圈的轴向截面为X形。

优选的，所述下旋转密封装置还包括：设置在所述旋转密封套内壁上的多个导向套。

较佳的，所述导向套的个数为两个。

优选的，所述下轴旋转密封装置还包括：

导向套压盖，固定设置在所述旋转密封套的顶面，且所述导向套压盖的内壁上设置有与所述主轴密封接触的第一密封圈；

与所述旋转密封套传动连接的旋转密封套带轮；以及，

底盖，固定设置在所述密封套带轮的底面，且所述底盖的内壁设置有与所述主轴密封接触的防尘圈。

优选的，所述支撑套包括：

套装在所述旋转密封套底部的外套；

固定设置在所述外套顶面的上传动密封压盖；以及，

固定在所述上传动密封压盖上的旋转密封压盖；且所述上传动密封压盖的内壁上设置有多个与所述主轴密封接触的第二密封圈。

优选的，所述角接触轴承的个数为两个，且所述角接触轴承位于所述上传动密封盖与所述外套之间。

优选的，所述支撑套还包括：固定设置在所述外套底部的深沟球轴承；所述外套通过所述深沟球轴承与所述旋转密封套活动连接。

优选的，所述支撑套还包括：设置在所述一对角接触轴承和深沟球轴承之间的轴承外支撑套，以及设置在所述深沟球轴承与所述密封套带轮之间的轴承小套。

本实用新型提供的区熔炉，包括上述任意一种下轴旋转密封装置。

本实用新型有益效果如下：通过采用星形密封圈提高了主轴在运动时的密封性能，采用角接触轴承安装在旋转密封套的顶部，提高了角接触轴承轴向的承受力，降低了装配难度，同时提高了装配精度，降低了主轴的震动，进一步的提高了主轴运动的稳定性，从而提高了单晶体的成品率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的下轴旋转密封装置的结构示意图；

图2为星形密封圈的轴向截面示意图。

附图标记：

10-主轴         20-星形密封圈 30-导向套

40-支撑套       41-外套       42-上传动密封压盖

43-旋转密封压盖 44-第二密封圈 45-轴承外支撑套

46-轴承小套     47-角接触轴承 48-深沟球轴承

50-旋转密封套   51-导向套压盖 52-密封套带轮

53-底盖         54-第一密封圈 55-防尘圈

具体实施方式