[实用新型]一种磁导轨连接机构

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，更具体地说，是涉及一种能够使磁导轨在高温条件下不产生明显变形的磁导轨连接机构。 

背景技术

现有技术中的磁导轨机构，其连接方式主要是磁导轨与法兰端盖刚性连接，这样的连接方式虽然在安装上面固定可靠，但其缺陷是没有活动量。磁导轨由于长期处于高温环境下工作，其材料会产生热胀冷缩现象，长期处于高温状态且磁导轨为刚性连接，此时磁导轨会产生一定的内应力，随着内应力的不断积累和加大，最终导致了磁导轨的变形。磁导轨一旦变形，很容易使设备无法处于正常工作状态。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术不足，提供一种能使磁导轨在高温条件下不产生明显变形，便于工作人员安装的磁导轨连接机构。 

要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为： 

本实用新型为一种磁导轨连接机构，所述的连接结构分别与磁导轨和法兰端盖连接，所述的连接结构包括基座，连杆，所述的基座的下端面与磁导轨之间通过螺栓固定连接，连杆的一端与基座活动连接，连杆的另一端与法兰端盖固定连接。 

优选地，所述的基座上设置开槽部，开槽部的两个侧面之间安装连接销，所述的连杆上设置穿孔，连杆的穿孔活动套装在连接销上。 

优选地，所述的连杆的端部车有一段螺牙结构，法兰端盖下端开有螺孔，该螺孔为盲孔，连杆与法兰端盖之间通过螺纹连接方式相连接。 

所述的连杆上设置沿连杆本体一周的凸台，连杆上套装调节垫片，所述的调节垫片位于连杆与法兰端盖之间，调节垫片设置为能够调节连杆与法兰端盖之间的相对距离的结构。 

优选地，作为实施方式一，所述的磁导轨连接机构还包括支撑座，支撑座上设置开槽部，开槽部穿透支撑座上表面，开槽部的两个侧面为两个支撑座侧面，两个支撑座侧面之间设置两个平行布置的连接销，其中一个连接销与连杆活动连接，另一个连接销与基座活动连接。 

优选地，作为实施方式二，所述的开槽部设置在基座上表面上，开槽部设置为凹下的结构，开槽部的两个侧面为两个基座侧面，两个基座侧面之间安装连接销，连杆一端与连接销活动连接。 

采用本实用新型的技术方案，能得到以下的有益效果： 

本实用新型所述的磁导轨连接机构，通过柔性结构的磁导轨连接结构将磁导轨与法兰端盖进行连接，磁导轨在同样的高温条件下工作时，当其产生一定的内应力时候，由于磁导轨连接机构是柔性活动的，从而会将磁导轨变形产生的应力释放，不会导致磁导轨的变形，解决了现有技术中往磁导轨变形量大的问题。 

附图说明

下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明： 

图1为本实用新型所述的磁导轨与真空室顶部的连接示意图。 

图2为本实用新型所述的磁导轨连接机构的实施方式一的结构示意图； 

图3为本实用新型所述的磁导轨连接机构的实施方式二的结构示意图； 

附图标记：1、基座；2、连杆；3、磁导轨；4、法兰端盖；5、开槽部；6、连接销；7、调节垫片；9、支撑座上表面；10、支撑座侧面；11、支撑座；12、基座上表面；13、基座侧面；14、磁导轨连接机构；15、真空室顶板。 

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明： 

如附图1—附图3所示，本实用新型为一种磁导轨连接机构，所述的连接结构分别与磁导轨3和法兰端盖4连接，所述的连接结构包括基座1，连杆2，所述的基座1的下端面与磁导轨3之间通过螺栓固定连接，连杆2的一端与基座1活动连接，连杆2的另一端与法兰端盖4固定连接。 

优选地，所述的基座1上设置开槽部5，开槽部5的两个侧面之间安装连接销6，所述的连杆2上设置穿孔7，连杆2的穿孔7活动套装在连接销6上。 

优选地，所述的连杆2的端部车有一段螺牙结构，法兰端盖4下端开有螺孔，该螺孔为盲孔，连杆2与法兰端盖4之间通过螺纹连接方式相连接。 

所述的连杆2上设置沿连杆2本体一周的凸台，连杆2上套装调节垫片7，所述的调节垫片7位于连杆2与法兰端盖4之间，调节垫片7设置为能够调节 连杆2与法兰端盖4之间的相对距离的结构。