[实用新型]一种加热炉

权利要求书

1.一种加热炉，包括：用于容纳待加热基板的加热腔，设置于所述加热腔内部的，用于对基板进行加热的热源组件，其特征在于，所述加热炉还包括：

设于加热腔底部的，用于喷射气体以使基板悬浮的喷气装置。

2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述热源组件为硅橡胶加热板，包括硅橡胶层和设于硅橡胶层之上的发热层。

3.根据权利要求2所述的加热炉，其特征在于，所述热源组件还包括隔热陶瓷层，所述隔热陶瓷层设于发热层之上。

4.根据权利要求3所述的加热炉，其特征在于，所述发热层包括发热元件，所述发热元件包括若干平行排列的片状发热条和线路板，片状发热条的同侧端与线路板相连。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的加热炉，其特征在于，所述加热炉还包括温度监控系统，所述温度监控系统包括：

至少一个监控加热腔内部温度的温度传感器；

接收所述温度传感器信号的控制单元；

接收控制单元指令并控制热源组件的执行单元。

6.根据权利要求5所述的加热炉，其特征在于，所述温度传感器包括：热电偶传感器和/或红外传感器。

7.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述加热炉包括两个以上加热腔，各所述加热腔层叠设置，加热腔之间用隔热材料隔开。

8.根据权利要求7所述的加热炉，其特征在于，各所述加热腔分别设置独立的参数控制系统，各所述参数控制系统用于控制各加热腔的加热参数。

9.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，还包括：用于控制加热腔内压力的压力控制单元。