[实用新型]一种扩散炉密封垫圈

说明书

技术领域

本发明太阳能光伏装备制造领域，具体涉及一种用于晶硅太阳电池生产用扩散炉尾气管连接的密封垫圈。

背景技术

晶硅太阳电池制造的一个极其重要的工序是采用扩散技术在硅片表面掺杂，通过控制一定扩散的浓度和深度，形成电池的P-N结。扩散炉是整个工艺过程中唯一的掺杂设备，对转换效率的提高起着关键作用。现在广泛使用的扩散炉存在以下不足：

扩散炉尾气管、热偶保护管连接处使用PFA（四氟乙烯）或PTFE（聚四氟乙烯）等耐高温材料的塑料密封垫圈，这种垫片不能解决尾气管泄漏和粘结问题。由于连接处密封不严，造成尾气管内的工艺残留气体（P₂O₅）与外部冷空气接触，冷空气中的水分与P₂O₅结合生产偏磷酸，偏磷酸从泄漏的接口处潮解生成磷酸腐蚀设备，也造成大石英管在接头处与尾气管粘连无法取下，同时接口处形成的磷酸在高温下造成尾气管被腐蚀。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供一种扩散炉密封垫圈，可完全取代现有的PFA或PTFE等塑料垫圈，克服了现有塑料垫圈密封不严和尾气管与大石英管接头处粘连的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：所述的密封垫圈为球碗型，球碗的内外壁分别与尾气管上的标准球碗和大石英管尾管上的标准球头紧密接触，碗底开有通孔，容纳尾气管通过，所述球碗的内外壁各有至少两道平行于碗口的凸起环。

所述的密封垫圈的碗口处向外突出一个翻边。

所述的密封垫圈是用有机硅胶或无机硅胶整体浇注后经常温固化而成。

所述的密封垫圈由PFA（四氟乙烯）或PTFE（聚四氟乙烯）加工成所述球碗形状的衬底，在衬底的内外表面均匀涂敷一层有机硅胶或无机硅胶固化而成。

本发明的有益效果是：

（1）本发明的密封垫圈的内、外部各有两道或两道以上的凸起环，密封圈的内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶或无机硅胶，减少安装过程中可能的破裂，大大提高密封垫圈的密封性能。

（2）本发明可以大量减少大石英管与尾气管接头处的偏磷酸的形成，从而大幅缓解了石英管在接头处与尾气管粘连无法取下的现象。

（3）本发明由于提高了密封性能，所以大量减少了在大石英管尾管与尾气管接口处偏磷酸的形成，从而大量减少了磷酸的形成，从而大幅缓解了所产生的磷酸对石英管的腐蚀，从而减少了石英管的破损率。

附图说明

图1为全硅胶密封垫圈平面示意图；

图2为密封垫圈安装示意图；

图3为衬底加硅胶涂层密封垫圈示意图；

图中，1-密封垫圈碗底，2-密封垫圈碗口，3-凸起环，4-大石英管，5-大石英管尾管上的标准球头，6-密封垫圈，7-尾气管，8-尾气管上的标准球碗，9-硅胶涂敷层。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

所述的密封垫圈的形状为上大下小的球碗型，所述密封垫圈的碗底是中空敞口的，所述密封垫圈的内、外部各有两道或两道以上的凸起环，所述密封圈的内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶或无机硅胶。

所述的密封垫圈的碗口处有一个翻边。

所述的密封垫圈是用有机硅胶或无机硅胶整体浇注后经常温固化而成。

所述的密封垫圈由PFA（四氟乙烯）或PTFE（聚四氟乙烯）加工成所述密封垫圈形状的衬底，在衬底的内外表面均匀涂敷一层有机硅胶或无机硅胶固化而成。

实施例1

所述的密封垫圈采用用有机硅胶或无机硅胶整体浇注后经常温固化而成。硅胶为可长期在300度高温下使用的有机硅或无机硅胶。密封垫圈在专门制作的非金属模具内成型并经过常温24小时固化，固化后的密封垫圈非常柔软且有较好的弹性，硬度远远低于PFA或PTFE材质制作的密封垫圈，所以密封效果非常好。

所述密封垫圈采用一个上大下小的球碗形状（如图1），此形状可与大石英管尾管上的标准球头5与尾气管上的标准球碗8紧密接触，即使球碗与球头制作误差较大（实际使用中球碗与球头经常匹配精度较差）也可以通过柔性的密封垫圈得以弥补。大石英管尾管上的标准球头5与尾气管上的标准球碗8较容易被腐蚀，所以在密封垫圈的球碗内、外侧各有两道环状突出3，这样既可以提高密封垫圈的密封性也可以增加其强度，减少安装过程中破裂的可能。

如图2所示，本发明提供的密封垫圈6安装在大石英管尾管上的标准球头5和尾气管上的标准球碗8之间，尾气管7穿过密封垫圈，插入大石英管的尾管中。