[实用新型]多晶硅铸锭炉的坩埚护板有效
申请号: | 201320178720.8 | 申请日: | 2013-04-10 |
公开(公告)号: | CN203583006U | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 徐桢弟;宗卫峰;史珺 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201300 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 坩埚 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板,其特征在于,坩埚护板由四片石墨护板连接而成并围成一个能够将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构;
各所述石墨护板的第一侧设置有多个榫、第二侧设置有和多个所述榫相对应的多个卯;
各所述石墨护板的第一侧的所述榫和该第一侧相邻的另一所述石墨护板的第二侧的所述卯相连接,各所述石墨护板的第二侧的所述卯和该第二侧相邻的另一所述石墨护板的第一侧的所述榫相连接。
在各所述石墨护板的榫的头部设置有一个插销孔,每一个所述插销孔配合设置一个呈条状的石墨销,从所述石墨销的一侧到另一侧所述石墨销的内径逐渐变大;所述四片石墨护板通过榫卯连接形成所述坩埚护板后,各所述榫穿过对应的卯并将所对应的插销孔露出,所述石墨销插入于所述插销孔中并使所述坩埚护板固定。
2.一种如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板,其特征在于:所述坩埚的外侧面呈长方体或正方体结构,所述坩埚护板的内侧面和所述坩埚的外侧面相接触并贴在一起。
3.一种如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板,其特征在于:所述坩埚的材质为石英。
4.一种如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板,其特征在于:所述坩埚护板所围的内部空间的尺寸能够通过调整所述石墨销插入所述插销孔的深度来调节。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海普罗新能源有限公司,未经上海普罗新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320178720.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。