[实用新型]直排爪型泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种直排爪型泵，属于真空技术领域。

背景技术

爪型泵是一种变容积干式真空泵，由装在泵体内的一对平行轴上的多级转子构成，轴端齿轮驱动同步反向运转。由于爪型泵在抽气过程中泵腔内不含油类等液体介质，清洁抽空，对被抽容器以及工作环境无污染，所以在半导体、电子、化工和制药行业得到了广泛的应用。在刚刚启动爪型泵的一段时间内，真空系统中气体量比较大，由于爪型泵自身结构的限制，其进气口和排气口尺寸都很小，并且所抽气体由第一级被排至最后一级时，排气压力逐级升高，导致真空系统内的气体不能有效抽出，极大地影响了爪型泵的抽气速率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种结构简单，且可提高抽气速率的直排爪型泵。

本实用新型所述的直排爪型泵，包括电机，电机固定在支架上，支架连接油箱，油箱顶部设置下端盖，下端盖上有排气口，下端盖顶部设置泵体，泵体顶部设置上端盖，上端盖一侧设置进气口，上端盖另一侧设置上排气口，对应上排气口设置排气管，排气管内安装有单向阀，排气管出口安装在下端盖上，并与排气口相连通。

在启动爪型泵后一段时间内，真空系统内气体通过爪型泵的第一级转子，此时气量大、压力高，可克服单向阀弹簧弹力，打开单向阀直接排往下端盖的排气口，绕过了第二级与第三级转子，大大提高了爪型泵的抽气效率；泵体内可包含三级转子或者四级转子，以三级转子为例，从上到下依次为第一级转子、第二级转子和第三级转子。

本实用新型的有益效果是：

结构简单，容易实现，上端盖另一侧上排气口的设置，可有效将真空系统内的气体抽出，提高抽气速率，进而提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、进气口2、上端盖3、上排气口4、排气管5、单向阀6、排气口7、下端盖8、油箱9、支架10、电机11、三级泵体12、二级泵体13、一级泵体。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步描述：

如图1所示，本实用新型所述的直排爪型泵，包括电机10，电机10固定在支架9上，支架9连接油箱8，油箱8顶部设置下端盖7，下端盖7上有排气口6，下端盖7顶部设置泵体，泵体分为一级泵体13、二级泵体12及三级泵体11，一级泵体13顶部设置上端盖2，上端盖2一侧设置进气口1，上端盖2另一侧设置上排气口3，对应上排气口3设置排气管4，排气管4内安装有单向阀5，排气管4出口安装在下端盖7上，并与排气口6相连通。

在刚刚启动爪型泵的一段时间内，真空系统内气体通过一级泵体13，此时气量大、压力高，可克服单向阀5的弹簧弹力，打开阀门，直接排往下端盖7的排气口6，绕开了二级泵体12和三级泵体11，最终排向大气，经过一段时间后，真空系统内压力降低，单向阀5关闭，气体再依次经过三个泵体内转子的压缩，最终通过排气口6排往大气。