[实用新型]单晶铜键合线清洗装置有效
| 申请号： | 201320168693.6 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203128668U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 田鹏;赵峰;周峰 | 申请（专利权）人： | 滕州晨晖电子集团有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/02 | 分类号： | C23G3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 277500 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶铜键合线 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶铜键合线清洗装置，包括集液箱、固定架、清洗罐，其特征是：集液箱为长方体有上盖，两个侧面上设有进线孔和出线孔，在出线孔一端的上方设有循环管入口，底部设有排液口，排液口与循环管相连通，集液箱装有清洗液。
2.根据权利要求1所描述的单晶铜键合线清洗装置，其特征是所述清洗罐的两端截面中央设有进线孔和出线孔，在进线孔一端的底面中部设有排水口，在出线孔的一端正上部设有进水口，并与循环管相连通。
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