[实用新型]一种半自动曝光机的对位机构

权利要求书

1.一种半自动曝光机的对位机构，其特征在于：包括底板（80），第一X轴马达（10）设于底板（80）一端，第一X轴马达（10）通过第一联轴器（12）与精密丝杆及螺母（40）同心连接，精密丝杆及螺母（40）与第一X轴导轨固定板（14）连接，第一X轴导轨固定板（14）、第一转轴轴承座（15）均与精密研磨导轨（60）连接，精密研磨导轨（60）与底板（80）可滑动式连接；精密轴承（50）连接第一转轴轴承座（15），转轴（16）连接精密轴承（50）、动板（17）；

底板（80）另一端设有两轴联动板（24），第二X轴马达（20）设于两轴联动板（24）上，第二X轴马达（20）通过第二联轴器（22）与精密丝杆及螺母（40）同心连接，精密丝杆及螺母（40）连接第二转轴轴承座（25），精密轴承（50）与第二转轴轴承座（25）连接；

Y轴马达（30）设于底板（80）中部，Y轴马达（30）通过第三联轴器（32）与精密丝杆及螺母（40）同心连接，精密丝杆及螺母（40）通过Y轴导轨固定板（33）与精密研磨导轨（60）连接，Y轴导轨固定板（33）与第二转轴轴承座（25）通过精密研磨导轨（60）连接；

联动板（17）下方设有定位销膨胀气缸（70），定位销膨胀气缸（70）两侧分别设有定位销左扣手（71）、定位销右扣手（74），定位销针（73）通过定位销固定座（72）设于定位销左扣手（71）、定位销右扣手（74）下方，伸缩针（75）通过伸缩销（76）设于定位销针（73）内部。

2.如权利要求1所述的一种半自动曝光机的对位机构，其特征在于：所述第一X轴马达（10）通过第一马达固定板（11）设于所述底板（80）一端。

3.如权利要求1所述的一种半自动曝光机的对位机构，其特征在于：所述第二X轴马达（20）通过第二马达固定板（21）设于所述两轴联动板（24）上。

4.如权利要求1所述的一种半自动曝光机的对位机构，其特征在于：所述Y轴马达（30）通过第三马达固定板（31）设于所述底板（80）中部。